Вышедшие номера
Диффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов и применение этого метода в технологии полупроводниковых приборов О б з о р
Гук Е.Г.1, Каманин А.В.1, Шмидт Н.М.1, Шуман В.Б.1, Юрре Т.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1999 г.

Рассмотрены особенности нетрадиционного метода диффузии из полимерных диффузантов различных примесей в кремний и полупроводниковые соединения AIIIBV. Приведены результаты использования этого метода в технологии полупроводниковых приборов на кремнии и гетероструктурах AlGaAs/GaAs и InGaAs(P)/InP.