"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние условий имплантации на перераспределение эрбия при твердофазной эпитаксиальной кристаллизации кремния
Александров О.В.1, Николаев Ю.А.1, Соболев Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 июля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1998 г.

Исследовалось влияние дозы, энергии и температуры имплантации ионов эрбия и соимплантации ионов кислорода на концентрационные профили Er при твердофазной эпитаксиальной кристаллизации аморфизованного слоя кремния и параметры сегрегационной модели - ширину переходного слоя L и координатную зависимость коэффициента сегрегации k(x). Увеличение дозы, уменьшение энергии и температуры имплантации Er сопровождается уменьшением ширины L и увеличением скорости роста коэффициента сегрегации k на начальном этапе твердофазной эпитаксиальной кристаллизации, что объясняется повышением дефектности аморфизованного имплантированного слоя. Дополнительная имплантация кислорода приводит к аналогичным изменениям значений L и k(x), что связывается с образованием комплексов Er-O.
  1. H. Ennen, J. Schneider, G. Pomrenke, A. Axmann. Appl. Phys. Lett., 43, 943 (1983)
  2. Н.А. Соболев. ФТП, 29, 1153 (1995)
  3. W.P. Gillin, Z. Jingping, B.J. Sealy. Sol. St. Commun., 77, 907 (1991)
  4. О.В. Александров, Ю.А. Николаев, Н.А. Соболев. ФТП, 32, 1420 (1998)
  5. L. Chepregi, E.F. Kennedy, J.W. Mayer, T.W. Sigmon. J. Appl. Phys., 49, 3906 (1978)
  6. F.Y.G. Ren, J. Michel, Q. Sun Paduano, B. Zheng, H. Kitagawa, D.C. Jacobson, J.M. Poate, L.C. Kimerling. MRS Symp. Proc., 301, 87 (1993)
  7. T. Motooka. Thin Sol. Films, 272, 235 (1996)
  8. D.L. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., 61, 2181 (1992)
  9. В.Ф. Мастеров, Ф.С. Насрединов, П.П. Серегин, Е.И. Теруков, М.М. Мездрогина. ФТП, 32, 708 (1998)
  10. J.S. Custer, A. Polman, H.M. Pinxtern. J. Appl. Phys., 75, 2809 (1994)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.