Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Ионная имплантация пористого фосфида галлия

Ушаков В.В.¹, Дравин В.А.¹, Мельник Н.Н.¹, Заварицкая Т.В.¹, Лойко Н.Н.¹, Караванский В.А.², Константинова Е.А.³, Тимошенко В.Ю.³

¹Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия Lebedev Physical Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Lebedev Physical Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

²Институт общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
³Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

Поступила в редакцию: 30 декабря 1997 г.

Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследовано влияние радиационного воздействия ионов Ar и термоотжига на свойства пористого фосфида галлия (por-GaP), полученного электрохимическими методами. На основе данных комбинационного рассеяния света и фотолюминесценции показано, что в отличие от пористого кремния por-GaP не обладает повышенной радиционной стойкостью, а термоотжиг дефектов в аморфизированных ионной имплантацией слоях затруднен вследствие отсутствия хорошей кристаллической основы для процессов твердотельной эпитаксиальной рекристаллизации. Данные по радиационному дефектообразованию и зондированию материала редкоземельным "люминесцентным зондом" соответствуют представлениям о мезопористой структуре материала.

Y. Kanemitsu. Phys. Reports, 263, 3 (1995)
A.G. Cukkis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
А.И. Белогорохов, В.А. Караванский, А.Н. Образцов, В.Ю. Тимошенко. Письма ЖЭТФ, 60, 262 (1994)
Ф.В. Зотеев, П.К. Кашкаров, А.Н. Образцов, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 30, 1473 (1996)
I.M. Tiginyanu, V.V. Ursaki, V.A. Karavanskii, V.N. Sokolov, Y.S. Raptis, E. Anastassakis. Sol. St. Commun. 97, 675 (1996)
A. Aneda, A. Serpi, V.A. Karavanskii, I.M. Tiginyanu, V.M. Ichizli. Appl. Phys. Lett., 67, 3316 (1995)
A. Meijerink, A.A. Bot, J.J. Kelly. Appl. Phys. Lett., 69, 2801 (1996)
V.Yu. Timoshenko, J. Rappich, Th. Dittrich. Appl. Surf. Sci., 1998 (в печати)
S. Hayashi, H. Kanamori. Phys. Rev. B, 26, 7079 (1982)
А.Э. Юнович. В сб.: Излучательная рекомбинация в полупроводниках (М., 1972) с. 304
Х. Риссел, И. Руге. Ионная имплантация (М., 1983)
В.В. Ушаков, В.А. Дравин, Н.Н. Мельник, В.А. Караванский, Е.А. Караванский, Е.А. Константинова, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 31, 1126 (1997)
А.М. Гукасян, В.М. Коннов, Н.Н. Лойко. КСФ, N 3--4, 44 (1992)
В.А. Дравин, В.М. Коннов, Т.В. Ларикова, Н.Н. Лойко. КСФ, N 3--4, 18 (1995)
A.A. Gippius, V.V. Ushakov, V.N. Yakimkin, V.S. Vavilov. Nucl. Instr. Meth. B, 39, 492 (1989)
V.V. Ushakov, A.A. Gippius. J. Cryst. Growth, 101, 458 (1990)
В.М. Коннов, Н.Н. Лойко. КСФ, N 9--10, 1997
В.М. Коннов, Н.Н. Лойко, С.Г. Черноок, О.М. Бородина. КСФ, 1998 (в печати)
В.Н. Якимкин. Автореф. канд. дис. (МГУ, физ. фак., 1988)
К.А. Кикоин, Л.А. Манакова. ФТП, 29, 291 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель