Вышедшие номера
Исследование структуры поверхности слоев диоксида олова для газовых сенсоров атомно-силовой микроскопией
Бестаев М.В.1, Димитров Д.Ц.1, Ильин А.Ю.2, Мошников В.А.1, Трэгер Ф.2, Штиц Ф.2
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Университет Касселя (кафедра физики), Д- Кассель, Германия
Поступила в редакцию: 11 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1998 г.

Представлены результаты исследования с помощью атомно-силовой микроскопии слоев диоксида олова в зависимости от условий легирования йодом и теллуром в процессе получения слоев методом термического вакуумного напыления олова с последующим его окислением. Приведены и обсуждаются данные атомно-силовой микроскопии слоев, изготовленных в различных технологических режимах. Показано, что введение легколетучих примесей в состав исходной шихты является эффективным способом модификации структуры поверхности слоев и изменения характера ее микрорельефа. Исследована и анализируется температурная зависимость чувствительности слоев к парам толуола.