Вышедшие номера
Распределение мелкой донорной примеси в пластине p-CdTe при ее отжиге в парах Cd
Бабенцов В.Н.1, Власенко З.К.1, Власенко А.И.1, Любченко А.В.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.

Проведены экспериментальные исследования и численное моделирование процесса двустороннего легирования пластины p-CdTe мелкими донорами при ее отжиге в парах кадмия. Установлен ряд особенностей этого процесса - корреляция в полосах низкотемпературной фотолюминесценции между разгоранием линии экситона, связанного на доноре, и гашением акцепторной линии, присущих рекомбинации на примеси I группы таблицы Д.И.Менделеева, находящейся в междоузлиях и узлах Cd соответственно; существенное влияние диффузии на профиль распределения доноров. Полученные результаты позволяют оптимизировать процесс отжига.