"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Распределение мелкой донорной примеси в пластине p-CdTe при ее отжиге в парах Cd
Бабенцов В.Н.1, Власенко З.К.1, Власенко А.И.1, Любченко А.В.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.

Проведены экспериментальные исследования и численное моделирование процесса двустороннего легирования пластины p-CdTe мелкими донорами при ее отжиге в парах кадмия. Установлен ряд особенностей этого процесса --- корреляция в полосах низкотемпературной фотолюминесценции между разгоранием линии экситона, связанного на доноре, и гашением акцепторной линии, присущих рекомбинации на примеси I группы таблицы Д.И.Менделеева, находящейся в междоузлиях и узлах Cd соответственно; существенное влияние диффузии на профиль распределения доноров. Полученные результаты позволяют оптимизировать процесс отжига.
  1. R. Bean, K. Zanio, J. Ziegler. J. Vac. Sci. Technol., A 7, 343 (1989)
  2. M.R. Squilante, G. Entine, E. Frederic, L. Cirignano. Instr. and Method in Phys. Research. A, 283, 323 (1989)
  3. A. Partovi, J. Millerd, E. Garmire, M. Ziari, W. Steier, S.B. Trivedi, M.B. Klein. Appl. Phys. Lett., 57, 846 (1990)
  4. W.J. Kim, M.J. Park, S.U. Kim, T.S. Lee, J.M. Kim, W.J. Song, S.H. Suh. J. Cryst. Growth, 104, 677 (1990)
  5. P. Gheuvart, U.E. Hanani, D. Schneider, R. Tribolet. J. Cryst. Growth, 101, 270 (1990)
  6. E. Molva, J.P. Chamonal, J.L. Pautrat. Phys. St. Col. B, 109, 635 (1982)
  7. S. Seto, A. Tanaka, Y. Masa, S. Dairaku, M. Kawashima, Appl. Phys. Lett., 53, 1524 (1988)
  8. Н.В. Агринская, В.В. Шашкова. ФТП, 22, 1248 (1988)
  9. Е.С. Никонюк, В.Л. Шляховый, З.И. Захарук, М.А. Ковалец, Н.И. Кучма. Неорг. матер., 31, 185 (1995)
  10. Н.В. Агринская, Н.Н. Зиновьев, О.А. Матвеев, И.Д. Ярошецкий. ФТП, 1, 172 (1980)
  11. В.Н. Бабенцов, Л.В. Рашковецкий, Е.А. Сальков, Н.И. Тарбаев. ФТП, 26, 1088 (1992)
  12. V.N. Babentsov, A.I. Vlasenko, N.I. Tarbaev. Int. Workshop on "Optical Diagnostics of Materials and Devices for Opto-, Micro-, and Quantum Electronics", ed. by S.V.Svechnikov, M.Ya.Valakh. Proc. SPIE, 2113, 104 (1993)
  13. В.В. Емцев, Т.В. Машовец. Примеси и точечные дефекты в полупроводниках (М., Радио и связь, 1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.