"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Кинетика генерации низкотемпературных кислородных доноров в кремнии с изовалентными примесями
Бабицкий Ю.М., Горбачева Н.И., Гринштейн П.М., Ильин М.А., Кузнецов В.П., Мильвидский М.Г., Туровский Б.М.
Выставление онлайн: 20 января 1988 г.

Исследована кинетика генерации термодоноров при температуре 430oС в монокристаллах кремния с изовалентными примесями углерода, германия или олова. Обнаружено, что наличие в кристаллах высоких концентраций углерода (N0C>~=1017 см-3) или германия (NGe>~=1019 см-3) приводит к менее эффективному образованию термодоноров. Кинетика их генерации описывается выражением NТД(tau)=NmaxТДKD [1-exp(-(t/tau)n)], где n~ 1 в Si без изовалентных примесей, n=0.7-0.8 в Si<C> и n= 1.3-1.4 в Si<Ge>. Определены зависимости начальной скорости генерации термодоноров от исходных концентраций кислорода, углерода и германия в монокристаллах.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.