"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Спектры поглощения тонких пленок TiO2, синтезированных реактивным высокочастотным магнетронным распылением титана
Иевлев В.М.1, Кущев C.Б.2, Латышев А.Н.1, Леонова Л.Ю.1, Овчинников О.В.1, Смирнов М.С.1, Попова Е.В.1, Костюченко А.В.1, Солдатенко С.А.2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 29 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Исследованы оптические спектры поглощения тонких пленок TiO2 разного фазового состава (анатаз, рутил-брукит, анатаз-рутил-брукит), полученных высокочастотным реактивным магнетронным распылением титана в разных атмосферах. Показана возможность применения метода вычитания спектров отдельных фаз в предположении аддитивности вклада каждой фазы в общий спектр при известной ее доле в слое. Выделены спектры фундаментального поглощения всех кристаллических модификаций многофазных пленок, обнаруженных при структурных исследованиях, и установлены края оптических переходов всех составляющих.
  1. K. Hashimoto, H. Irie, A. Fujishima. Jpn. J. Appl. Phys., 44 (12) 8269 (2005)
  2. L.H. Chong, K. Mallik, C.H. de Groot, R. Kersting. J. Phys.: Condens. Matter, 18, 645 (2006)
  3. D. Luca, L.S. Hsu. J. Optoelectronics Adv. Mater., 5 (4), 835 (2003)
  4. Y. Zhang, X. Ma, P. Chen, D. Yang. J. Alloys Comp., 480 (2), 938 (2009)
  5. X. Wang, Zh. Feng, J. Shi, G. Jia, S. Shen, J. Zhou, C. Li. Phys. Chem. Chem. Phys., 12, 7083 (2010)
  6. S.A. Haque, S. Koops, N. Tokmoldin, J.R. Durrant, J. Huang, D.D.C. Bradley, E. Palomares. Adv. Mater., 19, 683 (2007)
  7. М. Мейтин. Электроника: наука, технология, бизнес, 6, 40 (2000)
  8. C. Yang, H. Fan, Y. Xi, J. Chen, Z. Li. Appl. Surf. Sci., 254, 2685 (2008)
  9. M.M. Hasan, A.S. Haseeb, R. Saidur, H.H. Masjuki. Intern. J. Chem. Biolog. Engin., 1 (2), 92 (2008)
  10. V. Shymanovska, L. Kernazhitsky, G. Puchkovska, V. Naumov, T. Khalyavka, V. Kshnyakin, S. Kshnyakina, V. Chernyak. J. Nano- Electron. Phys., 3 (2), 63 (2011)
  11. R. Asahi, Y. Taga, W. Mannstadt, A.J. Freeman. Phys. Rev. B, 61, 7459 (2000)
  12. S.-D. Mo, W.Y. Ching. Phys. Rev. B, 51(19), 13 023 (1995)
  13. R. Zallen, M.P. Moret. Sol. St. Commun., 137, 154 (2006)
  14. Z.Y. Zhong, H. Saka, T.H. Kim, E.A. Holm, Y.F. Han, X.S. Xie. Mater. Sci. Forum, 475-- 479, 1223 (2005)
  15. Z.W. Zhao, B.K. Tay. J. Electroceramics, 16 (4), 489 (2006)
  16. J.-G. Li, T. Ishigaki, X. Sun. J. Phys. Chem. C, 111, 4969 (2007)
  17. M. Koelsch, S. Cassaignon, J.F. Guillemoles, J.P. Jolivet. Thin Sol. Films, 403-- 404, 312 (2002)
  18. J.R. Simpson, H.D. Drew, S.R. Shinde, R.J. Choudhary, S.B. Ogale, T. Venkatesan. Phys. Rev. B, 69, 193 205 (2004)
  19. H. Tang, F. Levy, H. Berger, P.E. Schmid. Phys. Rev. B, 52 (11), 7771 (1995)
  20. H. Tang, K. Prasad, R. Sanjines, P.E. Schmid, F. Levy. J. Appl. Phys., 75 (4), 2042 (1994)
  21. J. Pascual, J. Camassel, H. Mathieu. Phys. Rev. B, 18 (10), 5606 (1978)
  22. K.M. Glassford, J.R. Chelikowsky. Phys. Rev. B, 46 (3), 1284 (1992)
  23. J. Choi, H. Park, M.R. Hoffmann. J. Mater. Res., 25 (1), 149 (2010)
  24. St. Mraz, J. Schneider. J. Appl. Phys., 109, 023 512 (2011)
  25. Т.А. Вартанян, С.Г. Пржибельский. Опт. и спектр., 108 (1), 134 (2010)
  26. Ю.И. Уханов. Оптические свойства полупроводников (М., Наука, 1977)
  27. JCPDS. Рowder Diffraction File Alphabetical Index Inorganic Сompounds Publication SMA-27 (Pennsylvania, 1997)
  28. S. Monticone, R. Tufeu, A.V. Kanaev, E. Scolan, C. Sanchez. Appl. Surf. Sci., 162-- 163, 565 (2000)
  29. C. Persson, A.F. da Silva. Appl. Phys. Lett., 86 (23), 231 912 (2005)
  30. В.М. Иевлев, C.Б. Кущев, А.Н. Латышев, О.В. Овчинников, Л.Ю. Леонова, М.С. Смирнов, А.А. Синельников, А.М. Возгорьков, М.А. Ивкова. Конденсированные среды и межфазные границы, 14 (2), 141 (2012)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.