Вышедшие номера
Особенности дефектообразования в кремнии при высокоэнергетичной имплантации бора
Аль-Баккур Ф.1, Дидык А.Ю.1, Козлов И.П.1, Оджаев В.Б.1, Петров В.В.1, Просолович В.С.1, Сохацкий А.С.1
1Институт полупроводников АН УССР, Киев
Выставление онлайн: 19 сентября 1991 г.