Проведены измерения угловых распределений аннигиляционных фотонов (УРАФ) для кристаллографических направлений <111>, <110> и <100> бездислокационного бестигельного кремния, подвергнутого термообработке при 1050 и 1250^oС в хлорсодержащей атмосфере (ХСА). Обнаружено образование позитронно-чувствительных дефектов. На основе полученных результатов выдвинута гипотеза об образовании дефектов вакансионного типа, в состав которых могут входить атомы кислорода. Полученные данные измерений УРАФ, по-видимому, можно рассматривать как прямое" подтверждение существования обогащенной вакансиями приповерхностной области кремния, образующейся в процессе его термообработки в ХСА.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.