Вышедшие номера
Пространственное упорядочение кластеров мышьяка в слоях GaAs, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре
Берт Н.А.1, Чалдышев В.В.1, Лубышев Д.И.1, Преображенский В.В.1, Семягин Б.Р.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 июля 1995 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1995 г.

Показано, что путем дельта-легирования индием в пленках GaAs, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой (200oC) температуре, можно сформировать двумерные слои наноразмерных кластеров мышьяка, разделенные матрицей GaAs, не содержащей кластеров. Пространственно упорядоченные кластерные структуры были получены в эпитаксиальных пленках GaAs, легированных донорами Si, акцепторами Be, а также не легированных электрически активными примесями.