Вышедшие номера
Светоизлучающие структуры Si : Er. Технология и физические свойства О б з о р
Соболев Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 ноября 1994 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1995 г.

Дается обзор результатов по получению и исследованию светоизлучающего Si : Er. Обсуждаются особенности легирования кремния эрбием. Основное внимание уделено методам ионной имплантации, твердофазной эпитаксии, молекулярно-лучевой имплантации и диффузии, которые позволяют создавать высококачественные сильно легированные эрбием слои кремния. Приводятся и обсуждаются результаты исследования электрических, структурных и оптических свойств. Анализируется влияние примесных атомов и собственных точечных решеточных дефектов на процессы дефектообразования. Предложены пути развития дальнейших исследований Si : Er и структур на его основе.