Балландович В.С.1, Мохов Е.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.
Емкостными методами исследованы монокристаллы Лели и эпитаксиальные слои 6H-SiC n-типа, компенсированные бором путем диффузии. С помощью нестационарной спектроскопии глубоких уровней наблюдались два акцепторных центра типа B и D, создаваемых бором в карбиде кремния. Энергия активации центров, оцененная по спектрам фотоемкости, составила ~=0.35 эВ для B-центра и ~= 0.75 эВ для D-центра. Суммарная концентрация центров была сопоставима с концентрацией внедренных атомов бора, в то время как их относительные концентрации сильно зависели от технологии выращивания кристаллов и уровня исходного легирования донорной примесью (азотом). Отмечается однозначное соответствие между относительной концентрацией наблюдаемых центров и люминесцентными свойствами образцов. Установлено, что эффективная высокотемпературная люминесценция наблюдается в образцах, в которых D-центры преобладают. Показано, что термический отжиг при температуре выше 2300o C приводит к резкому уменьшению концентрации D-центров.
- Г.А. Ломакина. ФТТ, 7, 600 (1965)
- Ю.А. Водаков, Н. Жумаев, В.П. Зверев, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, В.В. Семенов, Ю.Ф. Симахин. ФТП, 11, 373 (1977)
- А.Г. Зубатов, А.М. Зарицкий, С.М. Лукин, Е.Н. Мохов, В.Г. Степанов. ФТТ, 27, 322 (1985)
- J. Reinke, S. Greulich-Weber, L.-M. Spaeth, E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, E.N. Mokhov. \it Abstracts of JCSCRM'93 (Washington, 1993) Tu B3
- H. Kuwabara, S. Yamada. Phys. St. Sol. (a), 30, 739 (1975)
- M. Ikeda, H. Matsunami, T. Tanaka. Phys. Rev. B, 22, 2842 (1980)
- S.H. Hagen, A.W.C. Kemenade. Phys. St. Sol. (a), 33, 97 (1976)
- Ю.А. Водаков, Е.Е. Гончаров, Г.А. Ломакина, А.А. Мальцев, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, М.Г. Рамм, Г.Г. Рябова. ФТП, 21, 207 (1987)
- A. Adamiano, R.M. Potter, V.J. Ozarov. Electrochem. Soc., 110, 517 (1963)
- Э.Е. Виолин, Г.Ф. Холуянов. ФТТ, 6, 1696 (1964)
- В.С. Балландович, Г.Н. Виолина, Ю.М. Таиров. ФТП, 15, 498 (1981)
- V.S. Ballandovich, G.N. Violina, Yu.M. Tairov. Phys. St. Sol. (a), 65, 709 (1981)
- М.М. Аникин, А.А. Лебедев, А.А. Сыркин. ФТП, 19, 114 (1985)
- W. Suttrop, G. Pensl, P. Lanig. Appl. Phys. A, 51, 231 (1990)
- Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, M.G. Ramm, A.D. Roencov. Krist. Techn., 14, 729 (1979)
- В.С. Балландович. ФТП, 25, 287 (1991)
- W.J. Choyke, L. Patrick. Phys. Rev., 127, 1868 (1962)
- В.И. Санкин. ФТТ, 15, 1820 (1975)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.