"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Емкостная спектроскопия карбида кремния, легированного бором
Балландович В.С.1, Мохов Е.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.

Емкостными методами исследованы монокристаллы Лели и эпитаксиальные слои 6H-SiC n-типа, компенсированные бором путем диффузии. С помощью нестационарной спектроскопии глубоких уровней наблюдались два акцепторных центра типа B и D, создаваемых бором в карбиде кремния. Энергия активации центров, оцененная по спектрам фотоемкости, составила ~=0.35 эВ для B-центра и ~= 0.75 эВ для D-центра. Суммарная концентрация центров была сопоставима с концентрацией внедренных атомов бора, в то время как их относительные концентрации сильно зависели от технологии выращивания кристаллов и уровня исходного легирования донорной примесью (азотом). Отмечается однозначное соответствие между относительной концентрацией наблюдаемых центров и люминесцентными свойствами образцов. Установлено, что эффективная высокотемпературная люминесценция наблюдается в образцах, в которых D-центры преобладают. Показано, что термический отжиг при температуре выше 2300o C приводит к резкому уменьшению концентрации D-центров.
  1. Г.А. Ломакина. ФТТ, 7, 600 (1965)
  2. Ю.А. Водаков, Н. Жумаев, В.П. Зверев, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, В.В. Семенов, Ю.Ф. Симахин. ФТП, 11, 373 (1977)
  3. А.Г. Зубатов, А.М. Зарицкий, С.М. Лукин, Е.Н. Мохов, В.Г. Степанов. ФТТ, 27, 322 (1985)
  4. J. Reinke, S. Greulich-Weber, L.-M. Spaeth, E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, E.N. Mokhov. \it Abstracts of JCSCRM'93 (Washington, 1993) Tu B3
  5. H. Kuwabara, S. Yamada. Phys. St. Sol. (a), 30, 739 (1975)
  6. M. Ikeda, H. Matsunami, T. Tanaka. Phys. Rev. B, 22, 2842 (1980)
  7. S.H. Hagen, A.W.C. Kemenade. Phys. St. Sol. (a), 33, 97 (1976)
  8. Ю.А. Водаков, Е.Е. Гончаров, Г.А. Ломакина, А.А. Мальцев, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, М.Г. Рамм, Г.Г. Рябова. ФТП, 21, 207 (1987)
  9. A. Adamiano, R.M. Potter, V.J. Ozarov. Electrochem. Soc., 110, 517 (1963)
  10. Э.Е. Виолин, Г.Ф. Холуянов. ФТТ, 6, 1696 (1964)
  11. В.С. Балландович, Г.Н. Виолина, Ю.М. Таиров. ФТП, 15, 498 (1981)
  12. V.S. Ballandovich, G.N. Violina, Yu.M. Tairov. Phys. St. Sol. (a), 65, 709 (1981)
  13. М.М. Аникин, А.А. Лебедев, А.А. Сыркин. ФТП, 19, 114 (1985)
  14. W. Suttrop, G. Pensl, P. Lanig. Appl. Phys. A, 51, 231 (1990)
  15. Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, M.G. Ramm, A.D. Roencov. Krist. Techn., 14, 729 (1979)
  16. В.С. Балландович. ФТП, 25, 287 (1991)
  17. W.J. Choyke, L. Patrick. Phys. Rev., 127, 1868 (1962)
  18. В.И. Санкин. ФТТ, 15, 1820 (1975)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.