Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Омический контакт металл--полупроводник AIIIBV: методы создания и свойства. О б з о р
Гольдберг Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 28 января 1994 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1994 г.
Рассмотрены методы создания и характеристики омических контактов металл-полупроводник AIIIBV. Приведена энергетическая диаграмма контакта в случаях, когда барьер между металлом и полупроводником устранен, сужен (за счет образования приповерхностного сильно легированного слоя) или снижен (за счет создания узкозонного слоя). Приведены характеристики омических контактов, изготовленных путем вплавления, химических реакций в твердой фазе, лазерного отжига, эпитаксии, диффузии, ионной имплантации, изменения свойств поверхности полупроводника. Проанализированы теоретические и экспериментальные зависимости сопротивления омических контактов от концентрации носителей заряда и ширины заперещенной зоны полупроводника в случаях, когда сопротивление определяется протеканием тока через границу металл-полупроводник либо через l-h-переход, созданный вблизи этой границы.
- W. Shottky. Z. Phys, 118 B, 539 (1942)
- A.K. Henish. \it Rectifying semiconductor contacts (Claredon Press, Oxford, 1957)
- А. Милнс, Д. Фойхт. \it Гетеропереходы и переходы металл--полупроводник (М., Мир, 1975)
- Э.Х. Родерик. \it Контакты металл--полупроводник (М., Радио и связь, 1982)
- J. Bardeen. Phys. Rev., 71, 717 (1947)
- C.A. Mead. Sol. St. Electron., 9, 1023 (1966)
- Ю.А. Гольдберг, Т.Ю. Рафиев, Б.В. Царенков, Ю.П. Яковлев. ФТП, \bf6, 462 (1972)
- C.A. Mead, W.G. Spitzer. Phys. Rev. Lett., \bf 10, 471 (1963)
- J.N. Walpole. K.W. Nill. J. Appl. Phys., \bf 42, 5609 (1971)
- W.E. Spicer, I. Lindau, P.E. Gregory, C.M. Garner, P. Pianetta, P.V. Chye. J. Vac. Sci. Techn., \bf 13, 780 (1976)
- W.E. Spicer, I. Lindau, P. Skeath, C.Y. Su. J. Vac. Sci. Techn., \bf 17, 1019 (1980)
- Ю.А. Гольдберг, М.И. Ильина, Е.А. Поссе, Б.В. Царенков. ФТП, \bf 22, 555 (1988)
- J.L. Freeouf, J.M. Woodall. Appl. Phys. Lett., \bf 39, 727 (1981)
- J.M. Woodall, J.L. Freeouf, J. Vac. Sci Techn., \bf 21, 574 (1982)
- T. Sebestyen. Sol. St. Electron., 25, 543 (1982)
- A. Robinson. Science, 238, N 4823, 27 (1987)
- W.O. Barnard, G. Myburg, F.D. Auret. Appl. Phys. Lett., \bf 61, 1933 (1992)
- C.J. Sandroff, R.N. Nottenburg, J.C. Bischoff, R. Bhat. Appl. Phys. Lett., \bf 51, 33 (1987)
- M.S. Carpenter, M.R. Melloch, M.S. Lundstrom, S.P. Tobin. Appl. Phys. Lett., \bf 52, 2157 (1988)
- Y. Nannishi, J.-F. Fan, H. Oigawa, A. Koma. Japan. J. Appl. Phys., \bf 27, L2367 (1988)
- J.-F. Fan, H. Oigawa, Y. Nannishi. Japan. J. Appl. Phys., \bf 27, L2125 (1988)
- M.S. Carpenter, M.R. Melloch, T.E. Dungan. Appl. Phys. Lett., \bf 53, 66 (1988)
- J. Massies, J. Chaplart, M. Laviron, N.T. Linh. Appl. Phys. lett., \bf 39, 693 (1981)
- J.S. Forest, D. Moustakas. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 2859 (1993)
- A. Piotrowska. Thin Sol. Films, 193/194, 511 (1990)
- J.S. Harris, Y. Nannishi, G.L. Pearson, G.F. Day. J. Appl. Phys., \bf 40, 4575 (1969)
- J. Gyulai, J.W. Mayer, V. Rodriguez, A.Y.C. Yu, H.J. Gopen. J. Appl. Phys., \bf 42, 3578 (1971)
- C.Y. Chang, Y.K. Fang, S.M. Sze. Sol. St. Electron., \bf 14, 541 (1971)
- G.Y. Robinson. Sol. St. Electron., 18, 331 (1975)
- N. Yokoyama, S. Ohkawa, H. Ishikawa. Japan. J. Appl. Phys., \bf 14, 1071 (1975)
- H. Hartnagel, K. Tomizawa, L.H. Herron, B.L. Weiss. Thin Sol. Films, \bf 36, 393 (1976)
- P.D. Vyas, B.L. Sharma. Thin Sol. Films, \bf 51, L21 (1978)
- O. Aina, S.W. Chiang, Y.S. Liu, F. Bacon. J. Electrochem. Soc., \bf 128, 2183 (1981)
- M.I. Nathan, M. Heiblum. Sol. St. Electron., \bf 25, 1063 (1982)
- S. Yasuami, Y. Saito, A. Hojo. Japan. J. Appl. Phys., \bf 23, 379 (1984)
- A. Christou. Sol. St. Electron., 22, 141 (1979)
- C.L. Chen, L.J. Mahoney, J.D. Woodhouse, M.C. Finn, P.M. Nitishin. Appl. Phys. Lett., \bf 50, 1179 (1987)
- C.L. Chen, L.J. Mahoney, M.C. Finn, R.C. Brooks, A. Chu. Appl. Phys. Lett., \bf 48, 535 (1986)
- M. Otsubo, H. Kumabe, H. Miki. Sol. St. Electron., \bf 20, 617 (1977)
- Y.-C. Shih, M. Murakami, E.L. Wilkie, A.C. Callegari. J. Appl. Phys, \bf 62, 582 (1987)
- L. Zheng. J. Appl. Phys., 71, 3566 (1992)
- R.J. Graham, R.W. Nelsonm, P. Williams, T.B. Haddock, E.P. Baaklini, R.J. Roedel. J. Electron. Mater., \bf 19, 1257 (1990)
- L.S. Yu, L.C. Wang, E.D. Marshall, S.S. Lau, T.F. Kuech. J. Appl. Phys., \bf 65, 1621 (1989)
- L.C. Wang, B. Zheng, K. Fang, E.D. Marshall, S.S. Lau, T. Sands, T.F. Kuech. J. Mater. Res., \bf 3, 992 (1988)
- H.R. Grinolds, G.Y. Robinson. Sol. St. Electron., \bf 23, 973 (1980)
- K. Shenai. IEEE Trans. Electron. Dev. \bf ED-34, 1642 (1987)
- J.G. Werthen. D.R. Scifres. J. Appl. Phys., \bf 52, 1127 (1981)
- O. Aina, W. Ketz, B.J. Baliga, K. Rose. J. Appl. Phys., \bf 53, 777 (1982)
- A. Illiadis. J. Vac. Sci. Techn. B, 5, 1340 (1987)
- M.A. Dornath-Mohr, W.W. Cole, H.S. Lee, D.C. Fox, D.W. Eckart, L. Yerke, C.S. Wrenn, R.T. Lereau, W.H. Chang, K.A. Jones, F. Cosanday. J. Electron. Mater., \bf 19, 1247 (1990)
- Y.-C. Shih, M. Murakami, W.H. Price. J. Appl. Phys., \bf 65, 3539 (1989)
- R. Dutta, M.A. Shahid, P.J. Sakach. J. Appl. Phys., \bf 69, 3968 (1991)
- P.Sircar. Phys. St. Sol. (a), 97, K69 (1986)
- A. Piotrowska, A. Guivarch, G. Pelous. Sol. St. Electron., \bf 26, 179 (1983)
- S. Margalit, D. Fekete, D.M. Pepper, C.-P. Lee, A. Yariv. Appl. Phys. Lett., \bf 33, 346 (1978)
- R. Stall, C.E.C.Wood, K. Board, N. Dandekar, L.F. Eastman, J. Devlin. J. Appl. Phys., \bf 52, 4062 (1981)
- P.D. Kircher, T.N. Jackson, G.D. Petit, J.M. Woodall. Appl. Phys. Lett., \bf 47, 26 (1985)
- J.M. Woodall, J.L. Freeouf, G.D. Petit, T. Jackson, P.D. Kirchner. J. Vac. Sci. Techn., \bf 19, 626 (1981)
- C.K. Peng, J. Chen, J. Chyi, H. Morkoc. J. Appl. Phys., \bf 64, 429 (1988)
- T. Nittono, H. Ito, O. Nakajima, T. Ishibashi. Japan. J. Appl. Phys., \bf 27, 1718 (1988)
- H. Shimawaki, N. Furuhata, K. Houjo. J. Appl. Phys., \bf 69, 7979 (1991)
- N.S. Kumar, J.-I. Chyi, C.K. Peng, H. Morkoc. Appl. Phys. Lett., \bf 55, 775 (1989)
- C.K. Peng, G. Ji, N.S. Kumar, H. Morkoc. Appl. Phys. Lett., \bf 53, 900 (1988)
- J.R. Shealy, S.R. Chinn. Appl. Phys. Lett., \bf 47, 410 (1985)
- K. Ohata, T. Nozaki, N. Kawamura. IEEE Trans. Electron. Dev. \bf ED-24, 1129 (1977)
- T. Inada, S. Kato, T. Hara, N. Toyoda. J. Appl. Phys., \bf 50, 4466 (1979)
- L. Mozzi, W. Fabian, F.J. Piekarski. Appl. Phys. Lett., \bf 35, 337 (1979)
- P.A. Pianetta, C.A. Stolte, J.L. Hansen. Appl. Phys. Lett., \bf 36, 597 (1980)
- F.A. Padovani, R. Stratton. Sol. St. Electron., \bf 9, 695 (1966)
- R.K. Kupka, W.A. Anderson. J. Appl. Phys., \bf 69, 3623 (1991)
- М. Шур.\it Современные приборы на основе арсенида галлия (М., Мир, 1991)
- A.Y.C. Yu. Sol. St. Electron., 13, 239 (1970)
- S.M. Cho, J.D. Lee, H.H. Lee, J. Appl. Phys., \bf 70, 282 (1991)
- Wu. Dingfen, K. Heime. Electron. Lett., \bf 18, 940 (1982)
- Wu. Dingfen, W. Denning, K. Heine. Sol. St. Electron., \bf 29, 489 (1986)
- А. Фаренбрух, Р. Бьюб. \it Солнечные элементы. Теория и эксперимент (М., Энергоатомиздат, 1987)
- Ю.А. Гольдберг, Б.В. Царенков. ФТП, 3, 1718 (1969)
- R.H. Cox, H. Strack. Sol. St. Electron., \bf 12, 89 (1969)
- K. Heime, U. Konig, E. Kohn, A. Wortmann. Sol. St. Electron., \bf 17, 835 (1974)
- H.H. Berger. J. Electrochem. Soc., 119, 507 (1972)
- L.Gutai, T. Mojres. Appl. Phys. Lett., \bf 26, 325 (1975)
- A.K. Sinha, T.E. Smith, H.J. Levinstein. IEEE Trans. Electron. Dev. \bf ED-22, 218 (1975)
- W.D. Edwards, W.A. Hartman, A.B. Torrens. Sol. St. Electron.,\bf 15, 387 (1972)
- N. Braslau. J. Vac. Sci. Techn., 19, 804 (1981)
- R.H. Cox, H. Strack. Sol. St. Electron., \bf 10, 1213 (1967)
- H. Matino, M. Tokunaga, J.W. Herrick, M.F. Adams. J. Electrochem. Soc., \bf 116, 709 (1969)
- R. Schwarz, J.C. Sarace. Sol. St. Electron., 9, 859 (1966)
- K.L. Klohn, L. Wandinge. J. Electrochem. Soc., \bf 116, 507 (1969)
- F. Vidimari. Electron. Lett. 15, 674 (1979)
- M. Ogawa, K. Ohata, T. Furutsuka, N. Kawamura. IEEE Trans. MTT, \bf MTT-24, 300 (1976)
- S. Asai. \it Proc 5 th Conf. of Sol. St. Dev.(Tokyo, 1973) p. 442
- Vipin.-Kumar, Tahur Dass Raghav. \it Techniques for making ohmic contacts (Allahabad, Vijnara Parishad, 1980)
- C. Ghosh, R. Yenigalla, K. Atkins. IEEE Trans. Electron. Dev. Lett., \bf EDL-4, 301 (1983)
- D.C. Marvin, N.A. Ives, M.S. Leung. J. Appl. Phys., \bf 58, 2659 (1985)
- L.C. Wang, X.Z. Wang, S.S. Lau, T. Sands, W.K. Chan, T.F. Kuech. Appl. Phys. Lett., \bf 56, 2129 (1990)
- Ю.А. Гольдберг, T.В. Львова, Р.В. Хасиева, Б.В. Царенков. ФТП, \bf 22, 1712 (1988)
- T. Clausen, O. Lestiko. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 1108 (1993)
- A. Katz, S. Nakahara, W. Savin, B.E. Weir. J. Appl. Phys., \bf 68, 4133 (1990)
- A. Katz, C.N.G. Chu, B.E. Weir, W.C. Dautremont-Smith, R.A. Logan, T. Tabun-Ek, W. Savin, D.W. Harris. J. Appl. Phys., \bf 68, 4141 (1990)
- S.N.G. Chu, A. Katz, T. Boone, P.M. Thomas, Y.G. Riggs, W.C. Dautrenont-Smith, W.D. Jonston. J. Appl. Phys., \bf 67, 3754 (1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
