Параметры центра, связанного с примесью Al в 6H-SiC
Кузнецов Н.И.1, Дмитриев А.П.1, Фурман А.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 декабря 1993 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1994 г.
Исследовались 6H-SiC-диоды с различной степенью легирования алюминием базовой области p-типа. В помощью токовой спектроскопии глубоких уровней определены параметры центра, связанного с примесью Al. Приведена теоретическая оценка сечения захвата дырки на заряженный центр в карбиде кремния. Результаты оценки согласуются с экспериментом.
- L. Patrick. Phys. Rev., 127, 1878 (1962)
- M. Ikeda, T. Hayakawa, S. Yamagiwa, H. Matsunami, T. Tanaka. J. Appl. Phys., \bf 50, 8215 (1979)
- M. Ikeda, H. Matsunami, T. Tanaka. Phys. Rev. B, \bf 22, 2842 (1980)
- Г.А. Ломакина, Ю.А. Водаков, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, Г.Ф. Холуянов. ФТТ, \bf 12, 2918 (1970)
- J.A. Edmond et al. In: Springer Proceedings in Physics (ed. by C.Y. Yang, M.M. Rahman, G.L. Harris), 71, Springer Verlag, Berlin (1992)
- J.A. Edmond et al. In: IEEE MTT Device Research Symposium Charletesville (1991)
- D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45, 3023 (1974)
- Н.И. Кузнецов. ФТП, 27, 1674 (1993)
- Н.И. Кузнецов. ПТЭ, 6, 163 (1990)
- В.Н. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. ФТП, \bf 12, 3 (1978)
- N.J. van Daal, W.F. Knippenbery, J.D. Wasscher. J. Phys. Chem. Sol., \bf 24, 109, (1963)
- Yu.A. Vodakov, G.A. Lomakina, E.N. Moxov, E.I. Radovanova, V.I. Sokolov, M.M. Usmanova. Phys. St. Sol. (a), \bf 35, 37 (1976)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.