Приготовление пленок CdxHg 1-xTe методом парофазной эпитаксии HgTe на подложках CdTe с последующей взаимной диффузией
Варавин В.С.1, Сидоров Ю.Г.1, Ремесник В.Г.1, Чикичев С.И.1, Нис И.Е.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 26 мая 1993 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.
Выращены зеркально-гладкие пленки HgTe на подложках CdTe различных ориентаций с помощью методики осаждения HgTe из паровой фазы в градиенте температур. Скорости выращивания 5/12 мкм/ч. Последующий отжиг структур позволяет получить слои Hg1-xCdxTe толщиной около 15 мкм с x CdTe=0.2/0.3 на поверхности и градиентом ширины запрещенной зоны 0.0025 эВ/мкм по глубине. После отжига концентрация носителей в образцах n-типа составляет (1/20)· 1015 см-3 при подвижности (2/5)· 104 см2/В· с, в образцах p-типа - концентрация (1/5)· 1016 см-3 и подвижность 200/350 см2/В· с (77 K). На пленках n-типа с помощью диффузии мышьяка получены фотодиоды с R0A=22 Ом· см2 и длинноволновой границей на 9.5 мкм.
- J. Piotrowsky, Z. Djuric, W. Galus, V. Lovic, M. Grudzien, Z. Dinovic, Z. Nowala. J. Cryst. Growth, \bf 83, 122 (1987)
- P. Becla, J. Lagowsky, H.C. Gatos, H. Ruda. J. Electrochem. Soc., \bf 128, 1171 (1981)
- Z. Djuric, J. Piotrowsky. Appl. Phys. Lett., \bf 51, 1699 (1987)
- B. Lee, L.K. Nagel, M.F.S. Tang, D.A. Stewenson, J.H. Tregilglas, M.W. Goodwin, R.L. Strong. J. Vac. Sci. Techn., \bf A8, 1098 (1990)
- В.А. Гнатюк, А.И. Власенко, Б.Л. Друзь, В.И. Лукьяненко, П.Е. Мозоль, А.В. Сукач. РАН. Неорг. матер., \bf 28, 2399 (1992)
- C.L. Jones, M.J.T. Quelch, P. Capper, J.J. Gosney. J. Appl. Phys., \bf 53, 9080 (1982)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.