Рассмотрены механизмы влияния освещения на формирование слоев пористого кремния в процессе анодирования кремния p-типа. Показано, что стадия доокисления кремния от двух- до четырехзарядного состояния может происходить с участием твердой фазы, являющейся светочувствительным катализатором процесса. Равномерное освещение подложки усиливает этот процесс и как следствие увеличивает пористость и фотолюминесценцию получаемых слоев. Неравномерное освещение подложки вызывает перераспределение пористого кремния по площади образца и также меняет его структуру.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.