"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Морфология, проводимость и эффект псевдолегирования в аморфных и аморфно-кристаллических пленках C : H
Данченков А.А.1, Лигачев В.А.1, Попов А.И.1
1Московский энергетический институт,, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 11 июня 1992 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1993 г.

Представлены результаты исследований структуры, морфологии, электрических и оптических параметров, а также спектров плотности состояний в окрестности уровня Ферми аморфных и аморфно-кристаллических гидрогенизированных пленок углерода, полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления твердой мишени в атмосфере аргон-водород при различных значениях температуры подложки Ts. Пленки, осажденные при Ts=< 200oC, характеризуются аморфной структурой, глобулярным строением поверхности и относительно низкими значениями электропроводности и оптической ширины запрещенной зоны. По мере увеличения Ts до 400oC наблюдаются исчезновение глобул на поверхности пленок, появление кристаллической фазы, увеличение электропроводности более чем на четыре порядка величины и оптической ширины запрещенной зоны до 3.5-3.7 эВ. В изученных пленках обнаружен и исследован эффект псевдолегирования, природа которого связывается с изменениями состава осаждаемого материала.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.