Вышедшие номера
Исследование границы раздела слой--подложка в структурах Si-SiO2-p-Si с кремниевыми квантовыми точками методом температурных зависимостей фотоэдс
Венгер Е.Ф.1, Кириллова С.И.1, Корсунская Н.Е.1, Старая Т.Р.1, Хоменкова Л.Ю.1, Саченко А.В.1, Goldstein Y.2, Savir E.2, Jedrzejewski J.2
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Racah Institute of Physics, The Hebrew University, Jerusalem, Israel
Поступила в редакцию: 9 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2010 г.

Методом температурных зависимостей конденсаторной фотоэдс исследованы слои, полученные магнетронным напылением Si и SiO2 на кремниевую подложку p-типа и содержащие кремниевые нанокристаллы в оксидной матрице. Изучено влияние на характеристики границы раздела слой-подложка ориентации подложки, а также естественного окисления слоя, предшествующего высокотемпературному отжигу, приводящему к образованию нанокристаллов Si в матрице SiO2. Оценена плотность быстрых граничных состояний, захватывающих основные носители. Установлено, что в случае подложки с ориентацией (111) на границе раздела слой-подложка имеют место структурные изменения, вызванные напряжениями, возникающими при понижении температуры. Показано, что естественное окисление напыленного слоя, предшествующее высокотемпературному отжигу, вызывает рост величины заряда, встроенного в окисел.