Вышедшие номера
Энергонезависимая память, основанная на кремниевых нанокластерах
Новиков Ю.Н.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 4 сентября 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.

Моделировались характеристики записи/стирания и хранения заряда в элементе памяти для электрически перепрограммируемого постоянного запоминающего устройства на основе структуры кремний/оксид_1/оксид_2/кремниевая_точка/оксид/полупроводник. В качестве блокирующего и второго туннельного слоя использовался альтернативный диэлектрик с высокой диэлектрической проницаемостью (ZrO2). В качестве первого туннельного оксида использовался тонкий слой из диэлектрика с низким значением диэлектрической проницаемости (SiO2). Благодаря такой конфигурации можно значительно улучшить инжекционные характеристики туннельного SiO2 в режиме записи/стирания и, следовательно, повысить быстродействие, увеличить инжектируемый заряд. В то же время использование достаточно толстых блокирующего и второго туннельного слоев позволяет удержать инжектированный заряд длительное время. Программирование импульсом с амплитудой ±11 B и длительностью 10 мс позволяет получить через 10 лет окно памяти ~6 B. PACS: 77.55.+f, 77.84.Bw, 78.66.Db, 78.66.Nk, 78.67.Hc, 85.90.+h