Вышедшие номера
Влияние низкотемпературного отжига на характеристики SiC-детекторов с введенными радиационными дефектами
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Садохин А.В.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Исследовались p+-n-n+-структуры детекторов, изготовленных на основе CVD-пленок с содержанием нескомпенсированных доноров 2· 1014 см-3. P+-область создавалась имплантацией ионов Al. Предварительно детекторы были облучены протонами с энергией 8 МэВ и дозой 3· 1014 см-2. Отжиг проводился при температуре 600oC в течение 1 ч. В измерениях, выполненных в интервале температур 20-150oC, сопоставлялись режимы прямого и обратного смещений. Показано, что отжиг способствует более полному переносу носителей заряда, созданных ядерных излучением, а также снижению заряда, накопленного ловушками при тестировании. Несмотря на положительное воздействие отжига, сохраняется значительное количество радиационных дефектов, проявляющихся, в частности, в кинетике прямого тока. PACS: 85.60.Gz