Влияние низкотемпературного отжига на характеристики SiC-детекторов с введенными радиационными дефектами
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Садохин А.В.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.
Исследовались p+-n-n+-структуры детекторов, изготовленных на основе CVD-пленок с содержанием нескомпенсированных доноров 2· 1014 см-3. P+-область создавалась имплантацией ионов Al. Предварительно детекторы были облучены протонами с энергией 8 МэВ и дозой 3· 1014 см-2. Отжиг проводился при температуре 600oC в течение 1 ч. В измерениях, выполненных в интервале температур 20-150oC, сопоставлялись режимы прямого и обратного смещений. Показано, что отжиг способствует более полному переносу носителей заряда, созданных ядерных излучением, а также снижению заряда, накопленного ловушками при тестировании. Несмотря на положительное воздействие отжига, сохраняется значительное количество радиационных дефектов, проявляющихся, в частности, в кинетике прямого тока. PACS: 85.60.Gz
- http://rd50.web.cern.ch/rd50/
- А.М. Иванов, А.А. Лебедев, Н.Б. Строкан. ФТП, 40 (10), 1259 (2006)
- А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, Е.В. Богданова, А.А. Лебедев. ФТП, 41 (1), 117 (2007)
- D. Bechevet, M. Glaser, A. Houdayer, C. Lebel, C. Leroy, M. Moll, P. Roy. Nucl. Instrum. Meth. A, 479, (2-3), 487 (2002)
- M. Huhtinen. Nucl. Instrum. Meth. A 491, (1--2), 194 (2002)
- A. Kawasuso, M. Yoshikawa, M. Maekawa, H. Itoh, T. Chiba, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, M. Weidner, T. Frank, G. Pensel. Mater. Sci. Forum, 433- 436, 477 (2003)
- M. Bockstedte, M. Heid, A. Mattausch, O. Pankratov. Mater. Sci. Forum, 433--436, 471 (2003)
- M.V.B. Pinheiro, E. Rauls, U. Gerstmann, S. Greulich-Weber, J.-M. Spaeth. Mater. Sci. Forum, 483--485, 477 (2005)
- F. Moscatelli. RESMDD06, Florence, 10--13 October 2006, http://www.astro.unifi.it/resmdd06/
- Е.В. Калинина, В.Г. Коссов, Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Р.Р. Яфаев, Г.Ф. Холуянов. ФТП, 40 (9), 1123 (2006)
- А.М. Иванов, А.А. Лебедев, Н.Б. Строкан. ФТП, 40 (7), 886 (2006)
- S.M. Ryvkin, L.L. Makovski, N.B. Strokan, V.P. Subashieva, A.K. Khusainov. IEEE Trans. Nucl. Sci., NS-15, 226 (1968)
- N.B. Strokan, A.M. Ivanov, A.A. Lebedev. Nucl. Instrum. Meth. A, 569 (3), 758 (2006)
- A.A. Lebedev, A.I. Veinger, D.V. Davydov, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk. J. Appl. Phys., 88, 6265 (2000)
- M.A. Lampert, P. Mark. Current inhection in solids (N.Y.--London, Academic Press, 1970)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.