"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние низкотемпературного отжига на характеристики SiC-детекторов с введенными радиационными дефектами
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Садохин А.В.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Исследовались p+-n-n+-структуры детекторов, изготовленных на основе CVD-пленок с содержанием нескомпенсированных доноров 2· 1014 см-3. P+-область создавалась имплантацией ионов Al. Предварительно детекторы были облучены протонами с энергией 8 МэВ и дозой 3· 1014 см-2. Отжиг проводился при температуре 600oC в течение 1 ч. В измерениях, выполненных в интервале температур 20-150oC, сопоставлялись режимы прямого и обратного смещений. Показано, что отжиг способствует более полному переносу носителей заряда, созданных ядерных излучением, а также снижению заряда, накопленного ловушками при тестировании. Несмотря на положительное воздействие отжига, сохраняется значительное количество радиационных дефектов, проявляющихся, в частности, в кинетике прямого тока. PACS: 85.60.Gz
  1. http://rd50.web.cern.ch/rd50/
  2. А.М. Иванов, А.А. Лебедев, Н.Б. Строкан. ФТП, 40 (10), 1259 (2006)
  3. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, Е.В. Богданова, А.А. Лебедев. ФТП, 41 (1), 117 (2007)
  4. D. Bechevet, M. Glaser, A. Houdayer, C. Lebel, C. Leroy, M. Moll, P. Roy. Nucl. Instrum. Meth. A, 479, (2-3), 487 (2002)
  5. M. Huhtinen. Nucl. Instrum. Meth. A 491, (1--2), 194 (2002)
  6. A. Kawasuso, M. Yoshikawa, M. Maekawa, H. Itoh, T. Chiba, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, M. Weidner, T. Frank, G. Pensel. Mater. Sci. Forum, 433- 436, 477 (2003)
  7. M. Bockstedte, M. Heid, A. Mattausch, O. Pankratov. Mater. Sci. Forum, 433--436, 471 (2003)
  8. M.V.B. Pinheiro, E. Rauls, U. Gerstmann, S. Greulich-Weber, J.-M. Spaeth. Mater. Sci. Forum, 483--485, 477 (2005)
  9. F. Moscatelli. RESMDD06, Florence, 10--13 October 2006, http://www.astro.unifi.it/resmdd06/
  10. Е.В. Калинина, В.Г. Коссов, Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Р.Р. Яфаев, Г.Ф. Холуянов. ФТП, 40 (9), 1123 (2006)
  11. А.М. Иванов, А.А. Лебедев, Н.Б. Строкан. ФТП, 40 (7), 886 (2006)
  12. S.M. Ryvkin, L.L. Makovski, N.B. Strokan, V.P. Subashieva, A.K. Khusainov. IEEE Trans. Nucl. Sci., NS-15, 226 (1968)
  13. N.B. Strokan, A.M. Ivanov, A.A. Lebedev. Nucl. Instrum. Meth. A, 569 (3), 758 (2006)
  14. A.A. Lebedev, A.I. Veinger, D.V. Davydov, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk. J. Appl. Phys., 88, 6265 (2000)
  15. M.A. Lampert, P. Mark. Current inhection in solids (N.Y.--London, Academic Press, 1970)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.