Калинина Е.В.1, Холуянов Г.Ф.1, Давыдов Д.В.1, Стрельчук А.М.1, Hallen A.2, Константинов А.О.3, Лучинин В.В.4, Никифоров А.Ю.5
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Royal Institute of Technology Department of Electronic, Electrum 229, SE 164 40 Kista, Sweden
3Acreo AB, Electrum 236, SE 164 40 Kista, Sweden
4Санкт-Петербургский электротехнический университет, Центр микротехнологии и диагностики, Санкт-Петербург, Россия
5Специализированные электронные системы, Москва, Россия