"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Модификация наноструктуры алмазоподобных пленок углерода бомбардировкой ионами ксенона
Файзрахманов И.А.1, Базаров В.В.1, Степанов А.Л.2, Хайбуллин И.Б.1
1Казанский физико-технический институт Казанского научного центра Российской академии наук, Казань, Россия
2Институт физики 1, Технический университет Аахена, Аахен, Германия
Поступила в редакцию: 2 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Изучено влияние бомбардировки тяжелыми ионами Xe (энергия Ei=80 кэВ) на оптические свойства, низкотемпературную проводимость и наноструктуру алмазоподобных пленок углерода (DLC). Установлены ряд специфических особенностей поведения графитоподобных нанокластеров, которые не наблюдаются при бомбардировке пленок легкими ионами. В области низких доз облучения (D<6· 1013 см-2) происходит уменьшение концентрации и размеров нанокластеров. При относительно высоких дозах бомбардировки (D>1.2· 1015 см-2) эффективная оптическая щель, определенная из зависимости Тауца, становится отрицательной, что связано с большой плотностью электронных состояний дефектов внутри щели. В этой области изменяется температурная зависимость проводимости, хотя сам механизм остается прыжковым. Ширина зоны дефектных состояний, образующейся в результате облучения, по которой осуществляется перенос зарядов, составляет 0.07 эВ, что близко к ранее полученному нами значению.
  1. Г.Ф. Качурин, И.Е. Тысченко, В. Скорупа, Р.А. Янков, К.С. Журавлев, Н.А. Паздников, В.А. Володин, А.К. Гутаковский, А.Ф. Лейер. ФТП, 31, 730 (1997)
  2. A.L. Stepanov, D. Hole. Recent Res. Devel. Appl. Phys., 5, 1 (2002)
  3. I.A. Faizrakhmanov, V.V. Bazarov, V.A. Zhikharev, I.B. Khaibullin. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 127/128, 719 (1997)
  4. И.А. Файзрахманов, В.В. Базаров, В.А. Жихарев, И.Б. Хайбуллин. ФТП, 35, 612 (2001)
  5. И.А. Файзрахманов, И.Б. Хайбуллин. Поверхность, N 5, 88 (1996)
  6. Н. Мотт, Э. Дэвис. Электронные процессы в некристаллических веществах (М., Мир, 1974)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.