"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование ncl-Si в аморфной матрице a-SiOx : H, расположенной вблизи анода и на катоде, с помощью модулированной по времени DC-плазмы с (SiH_4-Ar-O2)-газовой фазой (CO_2=21.5 мол%)
Переводная версия: 10.1134/S1063782619110228
Ундалов Ю.К.1, Теруков Е.И.1,2, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: undalov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.

Представлены результаты исследований получения ncl-Si в аморфной матрице a-SiOx : H с помощью модулированной по времени DC-плазмы при повышенном содержании кислорода CО_2=21.5 мол% в газовой смеси (SiH_4-Ar-O2). Модуляция плазмы заключалась в многократном n=180 включении на время ton=5, 10, 15 c и выключении на время toff=5, 10, 15 c катушки магнита DC-магнетрона. При этом для усиления процессов диссоциации SiH4, формирования наночастиц Si, ионизации кислорода и потоков ncl-Si в сторону электродов использовался эффект самоиндукции. Образцы располагались как на электроизолированном подложкодержателе вблизи анода, так и на катоде вне его зоны эрозии. Эти эксперименты показали, что форма кривых зависимости интенсивности фотолюминесценции IPLncl-Si от длины волны излучения λ для всех пар образцов на аноде и на катоде идентичны. Когда значение ton мало (ton=5 с), различие расположения образцов сказывается на ИК-спектры слабо. Увеличение ton≥10 c и малом toff=5 c приводит к обогащению аморфной матрицы, расположенной на катоде (по сравнению с анодом), кислородом. Определены оптимальные параметры модуляции плазмы toff/ton=5, 10, 15/10 и toff/ton=5, 10/15, когда аморфная матрица обладала "совершенной структурой" и прозрачностью для излучения, а IPLncl-Si была бы наибольшей в области λ~0.75-0.9 мкм. Ключевые слова: модулированная DC-плазма, матрица a-SiOx : H, ncl-Si, (SiH_4-Ar) + 21.5 мол% О2, анод, катод.
  1. Z.H. Lu, D.J. Lockwood, J.-M. Baribeau. Nature (London), 378, 258 (1995)
  2. D.J. Lockwood. Sol. St. Commun., 92, 101 (1994)
  3. D.J. Lockwood, A.G. Wang. Sol. St. Commun., 94, 905 (1995)
  4. Y.Q. Wang, G.L. Kong, W.D. Chen, H.W. Diao, C.Y. Chen, S.B. Zhang. Appl. Phys. Lett., 81, 4174 (2002)
  5. L.X. Yi, J. Heitmann, R. Scholz, M. Zacharias. Appl. Phys. Lett., 81, 4248 (2002)
  6. Y. Kanzawa, S. Hayashi, K. Yamamoto. J. Phys.: Condens. Matter, 8, 4823 (1996)
  7. Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков, О.Б. Гусев, И.Н. Трапезникова. ФТП, 50, 538 (2016)
  8. Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова. ФТП, 52, 1137 (2018)
  9. A. Bouchoule, A. Plain, L. Boufendi, J.Ph. Blondeau, C. Laure. J. Appl. Phys., 70, 1991 (1991)
  10. L. Boufendi, A. Plain, J.Ph. Blondeau, A. Bouchoule, C. Laure, M. Toogood. Appl. Phys. Lett., 60, 169 (1992)
  11. P.G. Pai, S.S. Chao, Y. Takagi, G. Lucovsky. J. Vac. Sci. Technol. A, 4, 689 (1986)
  12. Б.С. Данилин, В.K. Сырчин. Магнетронные распылительные системы (М., Радио и связь, 1982)
  13. H. Conrads, M. Schmidt. Plasma Sources Sci. Technol., 9, 441 (2000).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.