О механизме и особенностях полевой эмиссии в полупроводниках
Жуков Н.Д.1, Михайлов А.И.2, Мосияш Д.С.1
1OOO "Реф-Свет", Саратов, Россия
2Саратовский государственный университет, Саратов, Россия
Email: ndzhukov@rambler.ru
Поступила в редакцию: 15 октября 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.
С помощью сканирующего туннельного микроскопа исследована полевая эмиссия электронов из отдельных зерен поверхности кремния и полупроводников AIIIBV - арсенида галлия, арсенида и антимонида индия. По соответствию функциональной зависимости вольт-амперной характеристики теории определен механизм эмиссии: при напряжениях V<1 В - прямое туннелирование через обедненный или обогащенный приповерхностный слой, при V>1 В - туннельная эмиссия из приповерхностных электронных состояний. Получены значения полевого порога эмиссии в пределах (1-5)·106 В/см, что существенно меньше, чем для металлов и углерода. Определяющими факторами эмиссии являются эффекты Шоттки, локализации и размерного квантования легких" электронов в приповерхностной зоне полупроводников AIIIBV, наличие приповерхностного обеднения в кремнии. По полученным данным для величин полевого порога эмиссии наиболее эффективным эмиттером является антимонид индия в виде субмикронных частиц-зерен.
- Н.В. Егоров, Е.П. Шешин. Электронная эмиссия (М., Интеллект, 2011)
- Ю.B. Гуляев, Н.П. Абаньшин, Б.И. Горфинкель, С.П. Морев, А.Ф. Резчиков, Н.И. Синицын, А.Н. Якунин. Письма ЖТФ, 39 (11), 63 (2013)
- Е.И. Гольдман, Ю.B. Гуляев, А.Г. Ждан, Г.В. Чучева. ФТП, 44 (8), 1050 (2010)
- Т.В. Бланк, Ю.А. Гольдберг. ФТП, 41 (11), 1281 (2007)
- А.Г. Ждан, Н.Ф. Кухарская, В.Г. Нарышкина, Г.В. Чучева. ФТП, 41 (9), 1135 (2007)
- Н.Д. Жуков, Е.Г. Глуховской, Д.С. Мосияш. ФТП, 50 (7), 911 (2016)
- С.А. Рыков. Сканирующая зондовая микроскопия полупроводниковых материалов и наноструктур (СПб., Наука, 2001)
- А. Милнс, Д. Фойхт. Гетеропереходы и переходы металл--полупроводник (М., Мир, 1975)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984)
- Н.Д. Жуков, Д.С. Мосияш, А.А. Хазанов, Н.П. Абаньшин. Прикл. физика, N 3, 93 (2015)
- Е.Г. Глуховской, Н.Д. Жуков. Письма ЖТФ, 41 (14), 47 (2015)
- О. Маделунг. Физика полупроводниковых соединений элементов III и V групп (М., Мир, 1967)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.