"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование кристаллических слоев Cu2O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация
Переводная версия: 10.1134/S1063782618030028
РФФИ, 15-08-06645-а
Агекян В.Ф. 1, Борисов Е.В.1, Гудовских А.С. 2,3, Кудряшов Д.А. 2, Монастыренко А.О. 2, Серов А.Ю. 1, Философов Н.Г. 1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: v.agekyan@spbu.ru, gudovskikh@spbau.ru, kudryashovda@spbau.ru, monas@spbau.ru, serovpobox@gmail.com, n.filosofov@spbu.ru
Поступила в редакцию: 5 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.

Методом магнетронного распыления сформированы пленки оксида меди (I) и оксида цинка толщиной в десятки и сотни нанометров на подложках из кремния и кварцевого стекла. Рост производился при различных температурах подложки и давлениях кислорода в рабочей камере. Образцы пленок исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии и оптическими методами. Установлено, что увеличение температуры подложки приводит к изменению морфологии поверхности пленок оксида меди (I) в сторону образования отчетливо выраженных кристаллитов. Спектры отражения и рамановского рассеяния свидетельствуют о том, что качество таких пленок близко к качеству объемных кристаллов Cu2O, полученных методом окисления меди. Что касается ZnO, то повышение температуры подложки и увеличение парциального давления кислорода позволяет получить пленки, в спектрах отражения которых наблюдается резкая экситонная структура, а в спектрах люминесценции --- излучение экситонов, связанных на донорах. DOI: 10.21883/FTP.2018.03.45629.8682
  1. K. Myny, B. Cobb, J.-L. van der Steen, A.K. Tripathi, J. Genoe, G. Gelinck, P. Heremans. 2015 IEEE Intern. Solid-State Circuits Conf. (ISSCC) Digest of Technical Papers, San Francisco, CA, 2015
  2. C.B.J. Semple, S. Rossbauer, K. Zhao, L.K. Jagadamma, A. Amassian, M.A. Mc Lachlan. Small, 12, 1993 (2016)
  3. N. Munzenrieder, G. Cantarella, C. Vogt, L. Petti, L. Buthe, G.A. Salvatore, Y. Fang, R. Andri, Y. Lam, R. Libanori, D. Widner, A.R. Studart, G. Troster. Adv. Electron. Mater., 1, 1400038 (2015)
  4. D.V. Sosnin, D.A. Kudryashov, S.A. Gudovskikh, K.S. Zelentsov. Techn. Phys. Lett., 41, 804 (2015)
  5. D. Kudryashov, A. Babichev, E. Nikitina, A. Gudovskikh, P. Kladko. J. Phys.: Conf. Ser., 643, 012013 (2015)
  6. L. Petti, N. Miinzenrieder, C. Vogt, H. Faber, L. Buthe, G. Cantarella, F. Bottacchi, T.D. Anthopoulos, G. Troster. Appl. Phys. Reviews, 3, 021303 (2016)
  7. Д.А. Кудряшов, А.С. Гудовских, А.В. Бабичев, А.В. Филимонов, А.М. Можаров, В.Ф. Агекян, Е.В. Борисов, А.Ю. Серов, Н.Г. Филосов. ФТП, 51, 111 (2017)
  8. M. Tadatsugu, N. Yuki, M. Toshihiro, N. Jun-ichi. Appl. Phys. Express, 4, 062301 (2011)
  9. A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S.F. Chichibu, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, M. Kawasaki. Nature Mater., 4, 42 (2005)
  10. T. Minami, T. Miyata, Y. Nishi. Solar Energy Mater. \& Solar Cells, 147, 93 (2016)
  11. N.M. Roshchina, P.S. Smertenko, V.G. Stepanov, L.V. Zavyalova, O.S. Lytvyn. Sol. St. Phenomena, 200, 3 (2013)
  12. H. Liu, R.B. Yang, S. Guo, J. Cory, N. Lee. J. Alloys Comp., 703, 225 (2017)
  13. A.E. Lapshin, V.S. Levitskii, V.I. Shapovalov, A.E. Komlev, E.S. Shutova, I.L. Myl'nikov, A.A. Komlev. Glass Phys. Chem., 42, 359 (2016)
  14. C. Zhao, X. Wu, P. Li, C. Zhao, X. Qian. Microchim. Acta, 184, 2341 (2017)
  15. Y. Bicer, G. Chehade, I. Dincer. Int. J. Hydrogen Energy, 42, 6490 (2017)
  16. Zh. Zhang, W. Hu, Y. Deng, Ch. Zhong, H. Wang, Y. Wu, Lei Liu. Mater. Res. Bulletin, 47, 2561 (2012)
  17. A. Compaan, H.Z. Cummins. Phys. Rev. B, 6, 4753 (1972)
  18. ф.И. Крейнгольд. Опт. и спектр., 30, 286 (1971)
  19. D.C. Reynolds, D.C. Look, B. Jogai, C.W. Litton, G. Cantwell, W.C. Harsch. Phys. Rev. B, 60, 2340 (1999)
  20. B.K. Meyer, H. Alves, D.M. Hofmann, W. Kriegseis, D. Forster, F. Bertram, J. Christen, A. Hoffmann, M. Strab burg, M. Dworzak, U. Haboeck, A.V. Rodina. Phys. Status Solidi B, 241, 231 (2004)
  21. J. Lagois. Phys. Rev. B, 23, 5511 (1981)
  22. R. Cusco, E. Alarcon-Llado, J. Ibanez, L. Artus, J. Jimenez, B. Wang, M.J. Callahan. Phys. Rev. B, 75, 165202 (2007)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.