"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Плотность состояний аморфного углерода и ее модификация отжигом
Иванов-Омский В.И.1, Таглиаферро А.2, Фанчини Г.2, Ястребов С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Политехнический институт, Торино, Италия
Поступила в редакцию: 28 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.

Исследовано влияния отжига на модификацию плотности состояний электронов в аморфном углероде a-C и аморфном гидрированном углероде a-C : H. Слои a-C изготавливались с помощью метода магнетронного распыления графитовой мишени в атмосфере аргоновой плазмы, а слои a-C : H тем же методом, но в атмосфере аргон-водородной плазмы. Экспериментально исследованы спектры оптического пропускания в диапазоне 1.5-5.6 эВ и измерены эллипсометрические параметры на длине волны He--Ne-лазера. Восстановлена спектральная зависимость мнимой части диэлектрической функции. Построена модель, описывающая оптический отклик аморфного углерода. В основу модели положена гипотеза о наличии флуктуаций размеров sp2-составляющей аллотропного состава аморфного углерода. Величина оптической щели Eg в материалах обоих типов объясняется наличием в них флуктуации критического масштаба. Из экспериментальных данных с помощью модельных параметров восстановлена зависимость от энергии плотности состояний в основной и в возбужденных зонах, а также плазменная частота для электронов, участвующих в оптических переходах. Показано, что зоны как основных, так и возбужденных состояний представляют собой неоднородно уширенные по гауссову закону симметричные относительно уровня Ферми полосы уровней. Динамика изменения параметров модели Eg, EG (энергия, соответствующая максимуму гауссова распределения) и плазменной частоты с температурой отжига выявляет для материалов обоих типов значительное увеличение масштаба критических флуктуаций и увеличение их количества с ростом температуры.
  1. J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. St. Sol., 15, 627 (1966)
  2. D. Dasgupta, F. Demichelis, C.F. Pirri, A. Tagliaferro. Phys. Rev. B, 43 (3), 2131 (1991)
  3. В.И. Иванов-Омский, А.В. Толмачев, С.Г. Ястребов. ФТП, 35 (2), 227 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.