"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Участие электронной подсистемы кристалла в реакциях распада комплексов дефектов в полупроводниках
Бояркина Н.И.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 12 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.

Рассмотрены реакции распада комплексов дефектов в полупроводниках. Вклад электронной подсистемы в скорость реакции учитывается через добавку изменения энергии электронной подсистемы кристалла (в результате протекания реакции) к энергетическому барьеру реакции. Сравнение теории с экспериментом проводится на примере реакций распада E-центров в облученном кремнии n-типа проводимости, легированном фосфором. Объяснена зависимость температуры стадии изохронного отжига E-центров от концентрации донорной примеси. Первая стадия отжига (Tann~ 400 K) в низкоомном кремнии обусловлена распадом E-центров и объясняется с привлечением модели вакансии, как двойного акцепторного центра, обладающего отрицательной корреляционной энергией и значениями уровней перезарядки вакансии EV(0/-)=Ec-0.09 эВ, EV(-/-)=Ec=-0.39 эВ. Из сопоставления расчетных и экспериментальных данных получено: величина энергии диссоциации E-центра Ua0~ 0.96 эВ, фактор вырождения g-E/g0E=1/16.
  1. L.C. Kimerling, H.M. DeAngelis, C.P. Carnes. Phys. Rev. B, 3, 427 (1971)
  2. А.И. Баранов, А.В. Васильев, Л.С. Смирнов. ФТП, 20, 1132 (1986)
  3. А.И. Баранов, А.В. Васильев, В.Ф. Кулешов, А.Ф. Вяткин, Л.С. Смирнов. Константы скорости реакций между многозарядными центрами в полупроводниках (Препринт, Черноголовка, 1985)
  4. G.D. Watkins, J.W. Corbett. Phys. Rev., 134, A1359 (1954)
  5. M. Hirata, M. Hirata, H. Saito. J. Appl. Phys., 37, 1867 (1966)
  6. A.O. Evwaray. J. Appl. Phys., 48, 1840 (1977)
  7. A.O. Evwaray. Appl. Phys. Lett., 29, 476 (1976)
  8. L.C. Kimerling, C.P. Carnes. J. Appl. Phys., 42, 3548 (1971)
  9. G.A. Baraff, E.O. Kane, M. Shluter. Phys. Rev. B, 21, 5662 (1980)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.