"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Образование термодоноров при одно- и двухступенчатых отжигах в кристаллах кремния с большой и малой концентрацией углерода
Бабич В.М.1, Баран Н.П.1, Бугай А.А.1, Кирица В.Л.1, Максименко В.М.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 28 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1996 г.

При исследовании влияния углерода на образование термодоноров при одно- и двухступенчатых отжигах в кислородсодержащих кристаллах кремния в интервале температур 400/800oC показано, что наличие примеси углерода в больших концентрациях, сравнимых с содержанием примеси кислорода в них (~8·1017 см-3), приводит к образованию в основном мелких однозарядных термодоноров с энергиями термической ионизации в диапазоне 24/38 мэВ и g-факторами в интервале 1.9985/1.9993, значительная часть которых термически устойчива к отжигам при более высоких температурах. В роли последних выступают докритические кластеры кислорода, зарожденные на атомах углерода. Обычные двухзарядные термодоноры, как и термоакцепторы типа центров Si-NK, в таких кристаллах не образуются.
  1. J.W. Corbett, R.S. McDonald, G.D. Watkins. J. Phys. Chem. Sol., 25, 873 (1964)
  2. B.O. Kolbesen, A. Muhlbauer. Sol. St. Electron., 25, 759 (1982)
  3. A.R. Bean, R.C. Newman. J. Phys. Chem. Sol., 33, 255 (1972)
  4. J. Leroueille. Phys. St. Sol. (a), 67, 177 (1981)
  5. A. Kanamori, M. Kanamori. J. Appl. Phys., 50, 8095 (1979)
  6. P. Gaworzewski, K. Schmalz. Phys. St. Sol. (a), 77, 571 (1983)
  7. A. Ohsawa, R. Takizawa, K. Honda, A. Shibatomi, S. Ohkawa. J. Appl. Phys., 53, 5733 (1982)
  8. Ю.М. Бабицкий, П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, М.Г. Мильвидский, Е.В. Орлов. Н.С. Рытова. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 21, 744 (1985)
  9. Ю.М. Бабицкий, П.М. Гринштейн. ФТП, 18, 604 (1984)
  10. В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук. УФЖ, 33, 593 (1988)
  11. K. Holzlein, G. Pensl. Appl. Phys. A, 34, 155 (1984)
  12. V.M. Babich, N.P. Baran, A.A. Bugay, A.A. Konchits, V.B. Kovalchuk, V.M. Maksimenko, B.D. Shanina. Phys. St. Sol. (a), 109, 537 (1988)
  13. Y. Kamiura, F. Hashimoto, M. Yoneta. J. Appl. Phys., 68, 1358 (1990)
  14. Y. Kamiura, F. Hashimoto, M. Yoneta. Phys. St. Sol. (a), 123, 357 (1991)
  15. V. Cazcarra, P. Zunino. J. Appl. Phys., 51, 4206 (1980)
  16. В.В. Батавин, Э.А. Кочина, З.А. Сальник. ФТП, 19, 692 (1985)
  17. N. Fukuoka, M. Yoneta, R. Miyamara, H. Saito. Japan J. Appl. Phys., 26, 197 (1987)
  18. A. Henry, J.L. Pautrat, R. Vendange. Appl. Phys. Lett., 49, 1266 (1986)
  19. В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук, М.Я. Скороход. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 24, 193 (1988)
  20. В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук, В.М. Максименко. ФТП, 26, 447 (1992)
  21. R. Oeder, P. Wagner. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 14, 171 (1983)
  22. P. Deak, L.C. Snyder, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 45, 11612 (1992)
  23. В.М. Бабич, Н.П. Баран, А.А. Бугай, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук, В.М. Максименко. ФТП, 25, 118 (1991)
  24. P. Fraundorf, G.K. Fraundorf, F. Shimura. J. Appl. Phys., 58, 4049 (1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.