Образование термодоноров при одно- и двухступенчатых отжигах в кристаллах кремния с большой и малой концентрацией углерода
Бабич В.М.1, Баран Н.П.1, Бугай А.А.1, Кирица В.Л.1, Максименко В.М.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 28 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1996 г.
При исследовании влияния углерода на образование термодоноров при одно- и двухступенчатых отжигах в кислородсодержащих кристаллах кремния в интервале температур 400/800oC показано, что наличие примеси углерода в больших концентрациях, сравнимых с содержанием примеси кислорода в них (~8·1017 см-3), приводит к образованию в основном мелких однозарядных термодоноров с энергиями термической ионизации в диапазоне 24/38 мэВ и g-факторами в интервале 1.9985/1.9993, значительная часть которых термически устойчива к отжигам при более высоких температурах. В роли последних выступают докритические кластеры кислорода, зарожденные на атомах углерода. Обычные двухзарядные термодоноры, как и термоакцепторы типа центров Si-NK, в таких кристаллах не образуются.
- J.W. Corbett, R.S. McDonald, G.D. Watkins. J. Phys. Chem. Sol., 25, 873 (1964)
- B.O. Kolbesen, A. Muhlbauer. Sol. St. Electron., 25, 759 (1982)
- A.R. Bean, R.C. Newman. J. Phys. Chem. Sol., 33, 255 (1972)
- J. Leroueille. Phys. St. Sol. (a), 67, 177 (1981)
- A. Kanamori, M. Kanamori. J. Appl. Phys., 50, 8095 (1979)
- P. Gaworzewski, K. Schmalz. Phys. St. Sol. (a), 77, 571 (1983)
- A. Ohsawa, R. Takizawa, K. Honda, A. Shibatomi, S. Ohkawa. J. Appl. Phys., 53, 5733 (1982)
- Ю.М. Бабицкий, П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, М.Г. Мильвидский, Е.В. Орлов. Н.С. Рытова. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 21, 744 (1985)
- Ю.М. Бабицкий, П.М. Гринштейн. ФТП, 18, 604 (1984)
- В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук. УФЖ, 33, 593 (1988)
- K. Holzlein, G. Pensl. Appl. Phys. A, 34, 155 (1984)
- V.M. Babich, N.P. Baran, A.A. Bugay, A.A. Konchits, V.B. Kovalchuk, V.M. Maksimenko, B.D. Shanina. Phys. St. Sol. (a), 109, 537 (1988)
- Y. Kamiura, F. Hashimoto, M. Yoneta. J. Appl. Phys., 68, 1358 (1990)
- Y. Kamiura, F. Hashimoto, M. Yoneta. Phys. St. Sol. (a), 123, 357 (1991)
- V. Cazcarra, P. Zunino. J. Appl. Phys., 51, 4206 (1980)
- В.В. Батавин, Э.А. Кочина, З.А. Сальник. ФТП, 19, 692 (1985)
- N. Fukuoka, M. Yoneta, R. Miyamara, H. Saito. Japan J. Appl. Phys., 26, 197 (1987)
- A. Henry, J.L. Pautrat, R. Vendange. Appl. Phys. Lett., 49, 1266 (1986)
- В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук, М.Я. Скороход. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 24, 193 (1988)
- В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук, В.М. Максименко. ФТП, 26, 447 (1992)
- R. Oeder, P. Wagner. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 14, 171 (1983)
- P. Deak, L.C. Snyder, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 45, 11612 (1992)
- В.М. Бабич, Н.П. Баран, А.А. Бугай, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук, В.М. Максименко. ФТП, 25, 118 (1991)
- P. Fraundorf, G.K. Fraundorf, F. Shimura. J. Appl. Phys., 58, 4049 (1985)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук