Изохронный отжиг образцов n-Si, облученных протонами с энергией 25 МэВ
Пагава Т.А.1, Беридзе М.Г.1, Майсурадзе Н.И.1
1Грузинский технический университет (департамент физики), Тбилиси, Грузия
Поступила в редакцию: 19 января 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.
Выполнены экспериментальные исследования эффекта Холла на облученных протонами монокристаллах n-Si с исходной концентрацией электронов проводимости N=6·1013 см-3. Показано, что при облучении протонами с энергией 25 МэВ наблюдается аномальное увеличение подвижности электронов, что объясняется образованием в кристалле металлических включений с омическим переходом на границе раздела с полупроводниковой матрицей. В процессе изохронного отжига вокруг металлических включений образуются непрозрачные для электронов проводимости оболочки из отрицательно заряженных акцепторных радиационных дефектов, что приводит к резкому уменьшению подвижности. Осцилляционная зависимость подвижности от температуры отжига объясняется изменением степени экранирования металлических включений отрицательно заряженными оболочками. Скопления межузельных атомов (металлические включения) отжигаются при 400oC.
- Ж. Бургуэн, М. Ланно. Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты (М., Мир, 1985)
- В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., Наука, 1990)
- В.В. Емцев, Т.В. Машовец. Примеси и точечные дефекты в полупроводниках (М., Радио и связь, 1981)
- B.R. Gossik. J. Appl. Phys., 30, 1214 (1959)
- Р.Ф. Коноплева, В.Л. Литвинов, Н.А. Ухин. Особенности радиационного повреждения полупроводников частицами высоких энергий (М., Атомиздат, 1971)
- Физические процессы в облученных полупроводниках, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1977)
- Т.А. Пагава, Н.И. Майсурадзе. ФТП, 44, 160 (2010)
- Т.А. Пагава, Н.И. Майсурадзе, М.Г. Беридзе. ФТП, 45, 582 (2011)
- Е.В. Кучис. Гальваномагнитные эффекты и методы их исследования (М., Радио и связь, 1990)
- А.А. Асеев, Л.Н. Федина, Д. Хoаль, Х. Барч. Скрепления межузельных атомов в кремнии и германии (Новосибирск, Наука, 1991)
- И.В. Антонова, С.С. Шаймиев, С.А. Смагулова. ФТП, 40, 557 (2006)
- Л.С. Милевский, Т.М. Ткачева, Т.А. Пагава. ЖЭТФ, 69, 2132 (1975)
- Н.И. Бояркина, С.А. Смагулова, А.А. Артемьев. ФТП, 36, 9007 (2002)
- T. Pagava, L. Chkhartishvili, N. Maisuradze. Rad. Eff. Def. Solids, 161, 709 (2006)
- Ю.В. Помозов, М.Г. Соснин, Л.И. Хируненко, В.И. Яшник, Н.В. Абрасимов, В. Шредер, М. Хене. ФТП, 34, 1030 (2000)
- М.Г. Мильвидский, В.В. Чалдышев. ФТП, 32, 513 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук