"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Определение фрактальной размерности поверхности эпитаксиального n-GaAs в локальном пределе
Торхов Н.А.1, Божков В.Г.1, Ивонин И.В.2, Новиков В.А.2
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 14 января 2008 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.

Исследования методом атомно-силовой микроскопии подготовленных для нанесения барьерного контакта поверхностей эпитаксиального n-GaAs показали, что основной рельеф таких поверхностей характеризуется шероховатостью в пределах 3--15 нм, хотя наблюдаются "выбросы" до 30--70 нм. С использованием трех независимых методов определения пространственной размерности поверхности, основанных на фрактальном анализе поверхности (метод триангуляции), контура ее сечения в горизонтальной плоскости и вертикального сечения (профиля поверхности) показано, что рабочая поверхность эпитаксиального n-GaAs удовлетворяет всем основным закономерностям поведения фрактальных броуновских поверхностей и в локальном приближении может характеризоваться величиной фрактальной размерности Df, несколько различающейся для различных измерительных масштабов. По результатам наиболее точного метода триангуляции фрактальные размерности исследований поверхности эпитаксиального n-GaAs для значений измерительного масштаба от 0.692 до 0.0186 мкм лежат в диапазоне Df=2.490-2.664. Получены оценки реальной площади поверхности Sreal эпитаксиальных слоев n-GaAs с помощью графического способа в приближении delta-> 0 (delta --- параметр, характеризующий измерительный масштаб). Показано, что реальная площадь поверхности эпитаксиального n-GaAs может значительно (на порядок и более) превышать площадь видимого контактного окна. PACS: 61.43.Hv, 68.35.Ct, 68.37.Ps, 68.47.Fg, 82.45.Mp
  1. Б. Мандельброт. Фрактальная геометрия природы (М., Институт компьютерных исследований, 2002) с. 656
  2. F. Family, T. Vicsek. Dynamics of Fractal Surfaces (World Scientific, Singapore, 1991) c. 376
  3. А.Д. Морозов. Введение в теорию фракталов (Москва--Ижевск, НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2001) с. 128
  4. П.А. Арутюнов, А.Л. Толстихина, В.Н. Демидов. Завод. лаб., 65 (9), 27 (1999)
  5. S. Talibuddin, J.P. Runt. J. Appl. Phys., 76 (9), 5070 (1994)
  6. Е. Федер. Фракталы (М., Мир, 1991)
  7. B.B. Mandelbrot. Fractals: Form, Chance, and Dimention (W.H. Freeman, San Francisco, 1977)
  8. Б.Б. Мандельброт. Фракталы в физике (М., Мир, 1988) с. 9
  9. B.B. Mandelbrot. Encyclopedia of physical science and technology, 5, 579 (1987)
  10. M. Matsushita, M. Sano, Y. Hayakawa, H. Honjo, Y. Sawada. Phys. Rev. Lett., 53, 286 (1984)
  11. А.В. Панин, А.Р. Шугуров. Поверхность, N 6, 64 (2003)
  12. C. Douketis, Z. Wang, T.L. Haslett, M. Moskovits. Phys. Rev. B, 51 (16), 11 022 (1995)
  13. Н.А. Торхов. ФТП, 37 (10), 1205 (2003)
  14. P. Meakin. Phys. Rev. A, 27, 1495 (1983)
  15. В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Нижний Новгород, Ин-т физики микроструктур РАН, 2004) с. 111
  16. www.ntmdt-tips.com
  17. www.ntmdt.com

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.