Вышедшие номера
К вопросу радиационной стойкости SiC при чередовании стадий облучения и отжига
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 апреля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2008 г.

Результаты воздействия на свойства SiC цикла "введение дефектов-отжиг-повторное введение дефектов" исследованы с помощью техники ядерной спектрометрии на примере деградации характеристик p-n-детекторов ядерного излучения. Облучение проводилось протонами с энергией 8 МэВ равными дозами по 3·1014 см-2. Суммарная доза 6·1014 см-2 соответствовала введению 2.4·1017 см-3 первично смещенных атомов. Отжиг проходил в две стадии длительностью 1 ч каждая при температурах 600 и 700oC. Детекторы тестировались alpha-частицами с энергией 5.4 МэВ и определялись эффективность переноса заряда и особенности формы амплитудного спектра. Измерения проводились в интервале 20-250oC. Показано, что воздействие первой дозы и последующего отжига не изменяет существенным образом стойкости SiC. В ходе второй (равной первой) дозы значение эффективной концентрации введенных центров оказывается в 1.2 раза большим. Неэквивалентность доз можно также отнести к влиянию значительной величины суммарной дозы протонов - 6·1014 см-2. PACS: 61.82.Fk, 61.80.-x