"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
К вопросу радиационной стойкости SiC при чередовании стадий облучения и отжига
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 апреля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2008 г.

Результаты воздействия на свойства SiC цикла "введение дефектов--отжиг--повторное введение дефектов" исследованы с помощью техники ядерной спектрометрии на примере деградации характеристик p-n-детекторов ядерного излучения. Облучение проводилось протонами с энергией 8 МэВ равными дозами по 3·1014 см-2. Суммарная доза 6·1014 см-2 соответствовала введению 2.4·1017 см-3 первично смещенных атомов. Отжиг проходил в две стадии длительностью 1 ч каждая при температурах 600 и 700oC. Детекторы тестировались alpha-частицами с энергией 5.4 МэВ и определялись эффективность переноса заряда и особенности формы амплитудного спектра. Измерения проводились в интервале 20-250oC. Показано, что воздействие первой дозы и последующего отжига не изменяет существенным образом стойкости SiC. В ходе второй (равной первой) дозы значение эффективной концентрации введенных центров оказывается в 1.2 раза большим. Неэквивалентность доз можно также отнести к влиянию значительной величины суммарной дозы протонов --- 6·1014 см-2. PACS: 61.82.Fk, 61.80.-x
  1. D. Bechevet, M. Glaser, A. Houdayer, C. Lebel, C. Leroy, M. Moll, P. Roy. Nucl. Instr. Meth., A 479 (2-3), 487 (2002)
  2. M. Huhtinen. Nucl. Instr. Meth., A 491, Issues 1-2, 194 (2002)
  3. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Н.С. Савкина, А.А. Лебедев, В.В. Козловский, M. Syvajarvi, R. Yakimova. ФТП, 38, 841 (2004)
  4. M.V.B. Pinheiro, E. Rauls, U. Gerstmann, S. Greulich-Weber, J.-M. Spaeth. Mater. Sci. Forum, 483--485, 477 (2005)
  5. А.М. Иванов, А.А. Лебедев, Н.Б. Строкан. ФТП, 40 (7), 886 (2006)
  6. А.М. Иванов, А.А. Лебедев, Н.Б. Строкан. ФТП, 40 (10), 1259 (2006)
  7. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, Е.В. Богданов, А.А. Лебедев. ФТП, 41 (1), 117 (2007)
  8. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, А.В. Садохин, А.А. Лебедев. ФТП, 41 (8), 998 (2007)
  9. K. Hecht. Zeitschrift Phys., 77, 235 (1932)
  10. N.B. Strokan, A.M. Ivanov, A.A. Lebedev. Nucl. Instr. Meth., A 569 (3), 758 (2006)
  11. A. Castaldini, A. Cavallini, F. Fabbri, F. Nava, P. Errani, V. Cindro. 8th RD50 Workshop (Prague, June 25-28, 2006). http: //rd50.web.cern,ch/rd50/
  12. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, А.А. Лебедев. ФТП, 42, 1135 (2008)
  13. Е.В. Калинина, А.М. Иванов, Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 34 (5), 63 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.