"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электрическая пассивация поверхноcти кремния органическими монослоями 1-октадецена
Антонова И.В.1, Соотс Р.А.1, Селезнев В.А.1, Принц В.Я.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 30 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Исследованы электрические свойства структур, состоящих из монослоя 1-октадецена, нанесенного на поверхность кремния, в зависимости от способа пассивации поверхности перед нанесением пленки (водородная и ионная пассивация) и интенсивности подсветки, активирующей реакцию присоединения молекул 1-октадецена к атомам кремния. Монослой 1-октадецена на поверхности кремния стабилен и обеспечивает химическую пассивацию поверхности. Обнаружено два липа ловушек (ловушки для дырок и для электронов), плотность которых можно варьировать при нанесении монослоя выбором интенсивности подсветки и способом пассивации поверхности. В случае низкого уровня подсветки и(или) использования йодной пассивации поверхности преобладают ловушки электронов, а в случае высокой интенсивности подсветки и(или) водородной пассивации поверхности --- ловушки для дырок. Показана возможность использования данных пленок для обеспечения проводимости в тонких приповерхностных слоях кремния за счет создания режима плоских зон или аккумуляции носителей у поверхности. PACS: 72.80.Le, 73.40.Qv, 81.40.Rs, 81.65.Rv
  1. R.A. Wolkow. Am. Rev. Phys. Chem., 50, 413 (1999)
  2. J.M. Buriak. Chem. Rev., 102, 1271 (2002)
  3. W.R. Ashurst, C. Yau, C. Carraro, C. Lee, G.J. Kluth, R.T. Howe, R. Maboudian. Sens Actuators A, 91, 239 (2001)
  4. J. Zhao, K. Uosaki. J. Phys. Chem., 108, 17 129 (2004)
  5. W. Cai, Z. Lin, T. Strother, L.M. Smith, R.J. Hamers. J. Phys. Chem. B, 106, 2656 (2002)
  6. C. Miramond, D. Vuillaume. J. Appl. Phys., 96, 1529 (2004)
  7. E.H. Nicollian, J.R. Brews. MOS Physics and Technology (Wiley--Interscience Publication, 1982)
  8. N. Nazarov, T. Gebel, L. Rebohle, W. Skopura. J. Appl. Phys., 94, 4440 (2003)
  9. A.B. Seival, R. Linke, H. Zuilhof, E.J.R. Sudholter. Adv. Mater., 12, 1457 (2000)
  10. A.B. Seival, B. van den Hout, H. Zuilhof, E.J.R. Sudholter. Langmuir, 17, 2172 (2001)
  11. A.B. Seival, C.L. Huisman, A. Schonecker, F.M. Schourmans, B. van der Heide, A. Goossens, W.C. Sinker, H. Zuilhof, E.J.R. Sudholter. J. Phys. Chem., 107, 6846 (2003)
  12. Е.Г. Гук, М.Е. Левинштейн, В.А. Марихин, Л.П. Мясникова, С.Л. Румянцев. ФТП, 39, 778 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.