"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние эрбия и кислорода на интенсивность фотолюминесценции эрбия и состав пленок a-SiOx : H<Er,O>, полученных магнетронным распылением на постоянном токе
Ундалов Ю.К.1, Теруков Е.И.1, Гусев О.Б.1, Кудоярова В.Х.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Изучалось влияние различных концентраций кислорода (CO2) в газовой смеси (20% SiH4+80% Ar)+O2 и площади эрбиевой мишени (SEr) на состав и фотолюминесцению Er3+ аморфных пленок a-SiOx : H<Er,O>, полученных магнетронным распылением на постоянном токе. Анализ экспериментальных данных показал, что кластеры [Er-O] и [Er-O-Si-O] формируются в газовой фазе плазмы с участием конкурирующих реакций окисления и процесса распыления Si- и Er-мишеней, а также благодаря взаимодействию в газовой фазе ассоциатов [Si-O] и [Er-O] друг с другом и с кислородом. Разрыв зависимостей концентраций связанного с эрбием кислорода и эрбия в пленке, NOEr-O,NEr=f(CO2,SEr), при CO2~(5-6.5) мол% подтверждает гипотезу существования различных эрбиевых кластеров. Определены условия, при которых получаются пленки a-SiOx : H<Er,O> с наибольшей интенсивностью фотолюминесценции ионов эрбия на длине волны 1.54 мкм.
  1. В.Х.Кудоярова, А.Н. Кузнецов, Е.И. Теруков, О.Б. Гусев, Ю.А. Кудрявцев, Б.Я. Бер, Г.М. Гусинский, W. Fuhs, G. Weiser, H. Kuehne. ФТП, 32, 1384 (1998)
  2. C. Piamonteze, A.C. Iniguez, L.R. Tessler, M.C. Martins Alves, H. Tolentino. Phys. Rev. Lett., 81, 4652 (1998)
  3. L.R. Tessler, A.C. Iniguez. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 603 (2000)
  4. Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков, О.Б. Гусев, В.Х. Кудоярова. ФТП, 37, 853 (2003)
  5. J. Michel, F.Y.G. Ren, B. Zheng et al. Mater. Sci. Forum, 143--147, 707 (1994)
  6. Mun-Jun Kim, G.K. Mebratu, Joo-Yeon Sung, Jung H. Shin. J. Non-Cryst. Sol., 315, 312 (2003)
  7. D.L. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eagleshum, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., 61, 218 (1992)
  8. L.R. Tessler, J.L. Coffer, J. Ji, R.A. Senter. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 673 (2002)
  9. J. Felsche. Rare earths (Berlin, 1973) v. 13, p. 99
  10. J. Michel, L.V.C. Assali, M.T. Morse, L.C. Kimerling. In: Semiconductors and semimetals. Lightemission in silicon: from physics to devices, ed. by D.J. Lockwood (San Diego, Academic Press, 1998) v. 49, pt. 4, p. 111
  11. П.Л. Дубов, Д.В. Корольков, В.П. Петрановский. Кластеры и матрично-изолированные кластерные сверхструктуры (СПб., Изд-во СПб. ун-та, 1995)
  12. E.I. Terukov, Yu.K. Undalov, V.Kh. Kudoyarova, K.V. Kougia, J.P. Kleider, M.E. Gueunier, R. Meaudre. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 699 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.