Предложен метод определения растворимости магния (Mg) в кремнии с содержанием кислорода больше чем 3·10¹⁷ см^-3. Метод основан на измерении интенсивности полосы поглощения 1106 см^-1 кислорода (O) при длительном диффузионном отжиге кремния. В результате образования оптически неактивного комплекса MgO поглощение и концентрация O уменьшаются. Разница между концентрацией O до и после диффузии соответствует концентрации Mg в кристалле. Определено значение растворимости Mg в бездислокационном Si при температуре 1250^oC, равное (2.5±0.19)·10¹⁷ см^-3. Эта величина совпадает с результатом, полученным ранее методом вторичной ионной масс-спектрометрии в бескислородном Si. Ключевые слова: легирование кремния, диффузия, примесные центры.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.