Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Взаимодействие Mg с кислородом и углеродом в кремнии

Шуман В.Б.¹, Астров Ю.А.¹, Лодыгин А.Н.¹, Порцель Л.М.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Email: leonid.portsel@mail.ioffe.ru

Поступила в редакцию: 14 февраля 2024 г.

В окончательной редакции: 27 февраля 2024 г.

Принята к печати: 29 февраля 2024 г.

Выставление онлайн: 27 апреля 2024 г.

PDF версия

Предложен метод определения растворимости магния (Mg) в кремнии с содержанием кислорода больше чем 3·10¹⁷ см^-3. Метод основан на измерении интенсивности полосы поглощения 1106 см^-1 кислорода (O) при длительном диффузионном отжиге кремния. В результате образования оптически неактивного комплекса MgO поглощение и концентрация O уменьшаются. Разница между концентрацией O до и после диффузии соответствует концентрации Mg в кристалле. Определено значение растворимости Mg в бездислокационном Si при температуре 1250^oC, равное (2.5±0.19)·10¹⁷ см^-3. Эта величина совпадает с результатом, полученным ранее методом вторичной ионной масс-спектрометрии в бескислородном Si. Ключевые слова: легирование кремния, диффузия, примесные центры.

R.K. Franks, J.B. Robertson. Solid State Commun., 5 (6), 479 (1967)
L.T. Ho, A.K. Ramdas. Phys. Rev. B, 5 (2), 462 (1972)
N.V. Abrosimov, N. Notzel, H. Riemann, K. Irmscher, S.G. Pavlov, H.-W. Hubers, U. Bottger, P.M. Haas, N. Drichko, M. Dresse. Solid State Phenomena, 131-133, 589 (2008)
В.Н. Шастин, Р.Х. Жукавин, К.А. Ковалевский, В.В. Цыпленков, В.В. Румянцев, Д.В. Шенгуров, С.Г. Павлов, В.Б. Шуман, Л.М. Порцель, А.Н. Лодыгин, Ю.А. Астров, Н.В. Абросимов, J.M. Klopf, H.W. Hubers. ФТП, 53 (9), 1263 (2019)
R.J.S. Abraham, A. DeAbreu, K.J. Morse, V.B. Shuman, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, Yu.A. Astrov, N.V. Abrosimov, S.G. Pavlov, H.-W. Hubers, S. Simmons, M.L.W. Thewalt. Phys. Rev. B, 98, 045202 (2018)
Yu.A. Astrov, L.M. Portsel, V.B. Shuman, A.N. Lodygin, N.V. Abrosimov. Phys. Status Solidi A-Appl. Mat., 219, 2200463 (2022)
H. Sigmund. J. Electrochem. Soc., 129, 2809 (1982)
S. Kawanishi, T. Yoshikawa. Mater. Transactions, 58 (3), 450 (2017)
В.Б. Шуман, А.А. Лаврентьев, А.А. Яковлева, N.V. Abrosimov, А.Н. Лодыгин, Л.М. Порцель, Ю.А. Астров. ФТП, 56 (9), 858 (2022)
Б.Н. Рыгалин, А.Р. Салманов, В.П. Пелипас, В.К. Прокофьева, В.В. Батавин, Е.В. Соколов. Неорг. матер., 17 (7), 1141 (1981)
B. Pajot, G. Taravella, J.P. Bouchaud. Appl. Phys. Lett., 23, 189 (1973)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель