"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние адсорбции молекул пиридина на концентрацию свободных носителей заряда и спиновых центров в слоях пористого кремния
Осминкина Л.А.1, Воронцов А.С.1, Константинова Е.А.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 29 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2005 г.

Методами инфракрасной спектроскопии и спектроскопии электронного парамагнитного резонанса исследовано влияние адсорбции молекул пиридина (C5H5N), проявляющего донорные свойства, на концентрацию свободных дырок и дефектов в слоях пористого кремния, различающихся морфологией составляющих его нанокристаллов и пор, а также концентрацией легирующей примеси бора. Установлено, что зависимость концентрации дырок от давления паров пиридина определяется исходным уровнем легирования пористого кремния бором, в то время как число дефектов - оборванных связей кремния практически не изменяется в процессе адсорбции для всех типов образцов. Для образцов, приготовленных на подложках с концентрацией бора ~1020 см-3, обнаружено уменьшение числа дырок при малых давлениях пиридина, что объяснено их захватом на поверхностные состояния адсорбированных молекул C5H5N. При давлениях пиридина, близких к давлению насыщенных паров, наблюдается рост концентрации дырок в слоях пористого кремния, связываемый с опустошением дырочных "ловушек" вследствие увеличения диэлектрической проницаемости среды, окружающей нанокристаллы кремния, в условиях конденсации паров C5H5N в порах образца.
  1. A. Ulihr. Bell Syst. Tech., 35, 333 (1956)
  2. W. Theib. Surf. Sci. Rep., 29, 91 (1997)
  3. V. Lehmann, R. Stengl, A. Luigart. Mater. Sci. Eng., 69--70, 11 (2000)
  4. V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, F. Koch. Phys. Status Solidi B, 222, R1 (2000)
  5. V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, V. Lysenko, M.G. Lisachenko, F. Koch. Phys. Rev. B, 64, 085 314 (2001)
  6. L. Boarino, C. Baratto, F. Geobaldo, G. Amato, E. Comini, A.M. Rossi, G. Faglia, G. Lerondel, G. Sberveglieri. Mater. Sci. Eng. B, 69--70, 210 (2000)
  7. L. Boarino, F. Geobaldo, S. Borini, A.M. Rossi, P. Rivolo, M. Rocchia, E. Garrone, G. Amato. Phys. Rev. B, 64, 205 308 (2001)
  8. П.К. Кашкаров, Е.А. Константинова, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 30 (8), 1479 (1996)
  9. M. Rocchia, E. Garrone, F. Geobaldo, L. Boarino, M.J. Sailor. Phys. Status Solidi A, 197 (2), 365 (2003)
  10. M. Chiesa, G. Amato, L. Boarino, E. Garrone, F. Geobaldo, E. Giamello. Angew. Chem., 42, 5031 (2003)
  11. А.Н. Несмеянов, Н.А. Несмеянов. Начала органической химии (М., Химия, 1974) т. 2, с. 298
  12. G. Polisski, G.G. Dollinger, A. Bergmaier, D. Kovalev, H. Heckler, F. Koch. Phys. Status Solidi A, 168, R1 (1998)
  13. В.И. Гавриленко, Ф.М. Грехов, Д.В. Корбутяк, В.Г. Литовченко. Оптические свойства полупроводников (Киев, Наук. думка, 1987)
  14. H. Hara, Y. Nishi. J. Phys. Soc. Japan, 21, 1222 (1966)
  15. E.H. Poindexter, P.J. Caplan, B.E. Deal, R. Razouk. J. Appl. Phys., 52 (2), 879 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.