Хабаров Ю.В.1, Капаев В.В.2, Петров В.А.3
1Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия
2Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
3Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Москва, Россия