Дисперсионный транспорт дырочных поляронов в МОП-структурах после ионизирующего излучения
Александров О.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: Aleksandr_ov@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 июля 2022 г.
В окончательной редакции: 22 ноября 2022 г.
Принята к печати: 18 декабря 2022 г.
Выставление онлайн: 14 января 2023 г.
Показано, что описание дисперсионного транспорта дырочных поляронов на основе модели многократного захвата позволяет количественно описать кинетику накопления и релаксации объемного заряда в МОП-структурах после ионизирующего облучения при низких (80-293 K) температурах. Проведено моделирование временных зависимостей порогового напряжения от температуры, напряженности электрического поля и толщины подзатворного оксида кремния. Показано, что кинетика релаксации объемного заряда определяется прыжковым транспортом дырочных поляронов с уровнями локализованных состояний в диапазоне 0.08-0.55 эВ, концентрацией поляронных состояний, влиянием напряженности электрического поля на среднюю энергию поляронов, а также зависимостью параметра дисперсионности α от толщины подзатворного оксида. Проведена оценка поляронного радиуса. Ключевые слова: МОП-структура, ионизирующее облучение, дисперсионный транспорт, поляроны, моделирование.
- T.R. Oldham, F.B. McLean. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50 (3), 483 (2003)
- К.И. Таперо, В.Н. Улимов, А.М. Членов. Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения (М., БИНОМ, 2012)
- О.В. Александров. ФТП, 55 (2), 152 (2021)
- F.B. McLean, N.E. Boesch, J.M. McGarrity. IEEE Trans. Nucl. Sci., 23 (6), 1506 (1976)
- N.E. Boesch, J.M. McGarrity, F.B. McLean. IEEE Trans. Nucl. Sci., 25 (3), 1012 (1978)
- N.E. Boesch, F.B. McLean, J.M. McGarrity, P.S. Winokur. IEEE Trans. Nucl. Sci., 25 (6), 1239 (1978)
- R.C. Hughes. Phys. Rev. B, 15 (4), 2012 (1977)
- H. Scher, E.W. Montrol. Phys. Rev. B, 12 (6), 2455 (1975)
- J. Noolandi. Phys. Rev. B, 16 (10), 4466, 4474 (1977)
- B. Hartenstein, A. Jakobs, K.W. Kehr. Phys. Rev. B, 54 (12), 8574 (1996)
- O.L. Curtis, J.R. Srour. J. Appl. Phys., 48 (9), 3819 (1977)
- О.В. Александров. ФТП, 54 (10), 1029 (2020)
- В.А. Гриценко, Р.М. Иванов, Ю.Н. Мороков. ЖЭТФ, 108 (6), 2216 (1995)
- J.M. Benedetto, H.E. Boesch. IEEE Trans. Nucl. Sci., 33 (6), 1318 (1986)
- V.I. Arkhipov, A.I. Rudenko. Phil. Mag. B, 45 (2), 189, 209 (1982)
- R.J. Krantz, L.W. Aukerman, T.C. Zietlow. IEEE Trans. Nucl. Sci., 34 (6), 1196 (1987)
- Н.Б. Брандт, В.А. Кульбачинский. Квазичастицы в физике конденсированного состояния (М., Физматлит, 2005) с. 396
- D.L. Griscom. J. Non-Cryst. Sol., 149 (1-2), 137 (1992)
- Г.Я. Красников, Н.А. Зайцев. Система кремний-диоксид кремния субмикронных СБИС (М., Техносфера, 2003)
- О.В. Александров, А.И. Дусь. ФТП, 42 (11), 1400 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
