"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Обнаружение примеси водорода в кремниевых детекторах излучения
Макаренко Л.Ф.1, Коршунов Ф.П.2, Ластовский С.Б.2, Замятин Н.И.3
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
2Институт физики твердого тела и полупроводников Белорусской академии наук, Минск, Белоруссия
3Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, Россия
Поступила в редакцию: 26 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.

Исследовано поведение кремниевых детекторов частиц, облученных электронами с энергией 2.5 МэВ, при отжиге. Обнаружено, что отжиг при 100-250oC приводит к образованию двух ловушек с уровнями Ec-0.32 эВ и Ev+0.29 эВ. При повышении температуры отжига до 300oC обе ловушки исчезают. На основании полученных данных сделан вывод о том, что обнаруженные ловушки связаны с водородосодержащими комплексами. Результатом наличия водорода в кристалле явилось понижение температуры отжига комплексов вакансия-кислород (VO) и <межузельный углерод>-<межузельный кислород> (CiOi). Причина этого эффекта связана с пассивацией этих комплексов водородом, с образованием электрически активного центра VOH (уровень Ec-0.32 эВ) на одной из промежуточных стадий этого процесса. Предполагается, что водород попал в исследованные структуры во время одной из технологических операций их изготовления.
  1. CERN LHCC 2000-009 LEB Status Report/RD48, December 31, 1999 on http://rd48.web.cern.ch/RD48/
  2. B.C. MacEvoy, A. Santocchia, G. Hall. Physica B, 273--274, 1045 (1999)
  3. O.V. Feklisova, N. Yarykin. Semicond. Sci. Techn., 12, 742 (1997)
  4. O.V. Feklisova, N. Yarykin, E.B. Yakimov, J. Weber. Physica B, 273--274, 235 (1999)
  5. Y. Tokuda. Jap. J. Appl. Phys., 37, 1815 (1998)
  6. Y. Tokuda, T. Seki. Semicond. Sci. Technol., 15, 126 (2000)
  7. S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A, 43, 153 (1987)
  8. O.V. Feklisova, N. Yarykin, E.B. Yakimov, J. Weber. Physica B, 308--310, 210 (2001)
  9. L.W. Song, G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 42, 5759 (1990)
  10. L.W. Song, X.D. Zhan, B.W. Benson, G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 42, 5765 (1990)
  11. C. Da Via, S.J. Watts. Nucl. Instr. Meth. B, 186, 111 (2002)
  12. K. Irmscher, H. Klose, K.J. Mass. J. Phys. C, 17, 6317 (1984)
  13. K. Bonde Nielsen et al. Physica B, 273--274, 167 (1999)
  14. S.D. Brotherton, P.J. Bradley. J. Appl. Phys., 53, 5720 (1982)
  15. V. Eremin, E. Verbitskaya, Z. Li. Nucl. Instr. Meth. A, 476, 537 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.