Вышедшие номера
Обнаружение примеси водорода в кремниевых детекторах излучения
Макаренко Л.Ф.1, Коршунов Ф.П.2, Ластовский С.Б.2, Замятин Н.И.3
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
2Институт физики твердого тела и полупроводников Белорусской академии наук, Минск, Белоруссия
3Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, Россия
Поступила в редакцию: 26 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.

Исследовано поведение кремниевых детекторов частиц, облученных электронами с энергией 2.5 МэВ, при отжиге. Обнаружено, что отжиг при 100-250oC приводит к образованию двух ловушек с уровнями Ec-0.32 эВ и Ev+0.29 эВ. При повышении температуры отжига до 300oC обе ловушки исчезают. На основании полученных данных сделан вывод о том, что обнаруженные ловушки связаны с водородосодержащими комплексами. Результатом наличия водорода в кристалле явилось понижение температуры отжига комплексов вакансия-кислород (VO) и <межузельный углерод>-<межузельный кислород> (CiOi). Причина этого эффекта связана с пассивацией этих комплексов водородом, с образованием электрически активного центра VOH (уровень Ec-0.32 эВ) на одной из промежуточных стадий этого процесса. Предполагается, что водород попал в исследованные структуры во время одной из технологических операций их изготовления.