Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Спектральная зависимость фотопроводимости варизонных структур типа GexSi1-x, полученных диффузионной технологией
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан 
Email: gkushiyev@inbox.ru, isamov.sb@gmail.com
Поступила в редакцию: 22 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 19 января 2022 г.
Принята к печати: 19 января 2022 г.
Выставление онлайн: 2 марта 2022 г.
Путем диффузионного легирования кремния германием была получена варизонная структура типа GexSi1-x. Элементный анализ поверхности образцов показал, что концентрация кремния (в атомных процентах) составляла 64.5%, германия - 26.9%, кислорода - 5.9%, других элементов - 2.7%. На спектральной зависимости фотопроводимости заметный рост фототока начинается при hν=0.75-0.8 эВ, что примерно соответствует ширине запрещенной зоны материала Ge0.27Si0.73. Разработка диффузионной технологии получения варизонных структур GеxSi1-x позволит разработать фотоприемники с расширенной областью спектральной чувствительности. Ключевые слова: варизонная структура, диффузия, фотопроводимость, кремний, германий.
- E.R. Johnson, S.M. Christian. Phys. Rev., 95 (2), 560 (1954)
- М.К. Бахадырханов, Б.А. Абдурахмонов, Х.Ф. Зикриллаев. Приборы, 215 (5), 39 (2018)
- В.Г. Кеслер, Л.М. Логвинский, В.И Машанов, О.П. Пчеляков, В.В. Ульянов. ФТТ, 44 (4), 90 (2002)
- М.К. Бахадырханов, Г.Х. Мавлянов, С.Б. Исамов, Х.М. Илиев, К.С. Аюпов, З.М. Сапарниязова, С.А. Тачилин. Неорг. матер., 47 (3), 545 (2011)
- И.Г.Атабаев, Н.А. Матчанов, Э.Н. Бахранов. ФТТ, 43 (12), 2140 (2001)
- M. Ogino, Y. Oana, M. Watanabe. Phys. Status Solidi A, 72, 535 (1982)
- Б.И. Иванов, M. Grajcar, И.Л. Новиков, А.Г. Вострецов, E. Ильичев. Письма ЖТФ, 42 (7), 90 (2016)
- М.В. Шалеев, П.А. Юнин, Д.В. Юрасов, З.Ф. Красильник. ФТП, 49 (8),1129 (2015)
- Stesmans, T. Nguyen Hoang, V.V. Afanas'ev. J. Appl. Phys., 116 (44), 501 (2014)
- И.Е. Тысченко, Р.А. Хмельницкий, В.В. Сарайкин, В.А. Володин, В.П. Попов. ФТП, 56 (2), 192 (2022)
- Ю.Н. Пархоменко, А.И. Белогорохов, Н.Н. Герасименко А.В. Иржак, М.Г. Лисаченко. ФТП, 38 (5), 593 (2004)
- А.С. Саидов, А. Кутлимуратов, Б. Сапаев, У.Т. Давлатов. Письма ЖТФ, 27 (8), 265 (2001)
- А.Е. Калядин, Н.А. Соболев, А.М. Стрельчук, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шеек. ФТП, 50 (2), 250 (2016)
- Н.А. Байдакова, В.А. Вербус, Е.Е. Морозова, А.В. Новиков, Е.В. Скороходов, М.В. Шалеев, Д.В. Юрасов, A. Hombe, Y. Kurokawa, N. Usami. ФТП, 51 (12), 1599 (2017)
- М.К. Бахадирханов, Н.Ф. Зикриллаев, С.Б. Исамов, Х.С. Турекеев, С.А. Валиев. ФТП, 56 (2), 199 (2022)
- G. Kissingearn, H.G. Grimmeiss. Phys. Status Solidi A, 145, K5 (1994)
- Ю.В. Помозов, М.Г. Соснин, Л.И. Хируненко, В.И. Яшник, Н.В. Абросимов, В. Шрёдер, М. Хёне. ФТП, 34 (9), 1030 (2000)
- А.А. Ежевский, П.Г. Сенников, Д.В. Гусейнов, А.В. Сухоруков, Е.А. Калинина, Н.В. Абросимов. ФТП, 54 (9), 933 (2020)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
