Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Структурные и газочувствительные характеристики тонких полупроводниковых пленок PdO различной толщины при детектировании озона

DOI: 10.21883/FTP.2021.11.51557.9684

Переводная версия: 10.21883/SC.2022.13.53898.9684

The work was carried out with financial support from the Russian Foundation for Basic Research, grant no. 20-03-00901

The work was carried out with financial support from the Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation under State Task for Higher Education Organizations in Science for 2020-2022 , Project FZGU-2020-0036

Рябцев С.В.

¹, Гхариб Д.А.А.¹, Турищев С.Ю.

¹, Обвинцева Л.А.

², Шапошник А.В.

³, Домашевская Э.П.

¹Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия Voronezh State University, Voronezh, Russia

²Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва, Россия Scientific and Technological Center of Unique Instrumentation of the Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Scientific and Technological Center of Unique Instrumentation of the Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

³Воронежский государственный аграрный университет, Воронеж, Россия Voronezh State Agrarian University, Voronezh, Russia

Email: ryabtsev@phys.vsu.ru, dinafareda2018@gmail.com, tsu@phys.vsu.ru, obvint@yandex.ru, a.v.shaposhnik@gmail.com, ftt@phys.vsu.ru

Поступила в редакцию: 24 мая 2021 г.

В окончательной редакции: 30 мая 2021 г.

Принята к печати: 30 мая 2021 г.

Выставление онлайн: 7 августа 2021 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Пленки PdO были получены методом термического напыления металлического палладия толщиной 30 и 90 нм с последующим его окислением на воздухе при различных температурах. Оксидные пленки PdO охарактеризованы методами просвечивающей электронной микроскопии и дифракции быстрых электронов. Получены данные о полупроводниковых свойствах и газовой чувствительности к различным концентрациям озона в воздухе. Установлены оптимальные температурные условия окисления пленок, которые обеспечивают их однородный фазовый состав и отсутствие электрических шумов при детектировании газов. Предложен и обоснован механизм появления электрических шумов в ультратонких пленках, связанный с их фрагментированием в процессе окислительного отжига. Показана возможность детектирования полупроводниковыми пленками PdO примесей озона в воздухе ниже предельно допустимой концентрации. Ключевые слова: тонкие пленки оксида палладия, фазовый состав, электрические шумы, газосенсорные свойства.

S.V. Ryabtsev, A.V. Shaposhnick, A.N. Lukin, E.P. Domashevskaya. Sensors Actuators B, 59 (1), 6 (1999). DOI: 10.1016/S0925-4005(99)00162-8
S.V. Ryabtsev, V.M. Ievlev, A.M. Samoylov, S.B. Kuschev, S.A. Soldatenko. Thin Sol. Films, 636, 751 (2017). DOI: 10.1016/j.tsf.2017.04.009
S.V. Ryabtsev, A.V. Shaposhnik, A.M. Samoylov, A.A. Sinelnikov, S.A. Soldatenko, S.B. Kuschev, V.M. Ievlev. Doklady Physical Chemistry, 470, 158 (2016). DOI: 10.1134/S0012501616100055
V.M. Ievlev, S.V. Ryabtsev, A.M. Samoylov, A.V. Shaposhnik, S.B. Kuschev, A.A. Sinelnikov. Sensors Actuators B, 255 (2), 1335 (2018). DOI: 10.1016/j.snb.2017.08.121
S.V. Ryabtsev, D.A.A. Ghareeb, A.A. Sinelnikov, S.Yu. Turishchev, L.A. Obvintseva, A.V. Shaposhnik. Matter and Interphases, 23 (1), 56 (2021). DOI: 10.17308/kcmf.2021.23/3303
J.M. Heras, G. Estiu, L. Viscido. Thin Sol. Films, 188, 165 (1990). DOI: 10.1016/0040-6090(90)90202-O
P.O. Nilsson, M.S. Shivaraman. J. Phys. C: Solid-State Phys., 12, 1423 (1979). DOI: 10.1088/0022-3719/12/7/030
V.Val. Sobolev, D.O. Mordas, V.V. Sobolev. Glass Phys. Chem., 29, 360 (2003). DOI: 10.1023/A:1025116708801
Powder Diffraction File, Alphabetical Index Inorganic Compounds. JCPDS
Semiconductor Sensors in Physico-Chemical Studies (Handbook of Sensors and Actuators, v. 4), ed. by L.Yu. Kupriyanov (Elsevier, Amsterdam--Lausanna--N.Y.--Oxford--Shannon--Tokio, 1996). SBN 5-02-001542-3
Л.А. Обвинцева, Т.Б. Шарова, А.К. Аветисов, И.П. Сухарева. Журн. физ. химии, 92 (6), 1099 (2018). L.A. Obvintseva, T.B. Sharova, A.K. Avetisov, I.P. Sukhareva. Russ. J. Phys. Chem. A, 92 (6), 1099 (2018). DOI: 10.1134/S0036024418060122
G. Korotcenkov, V. Brinzari, B.K. Cho. Critical Rev. Solid State and Mater. Sci., 43 (2), 83 (2017). DOI: 10.1080/10408436.2017.1287661
T. Tadashi. In: Chemical Sensor Technology. V. 2. Ed. by T. Seiyama (Tokyo, Koudansha; Amsterdam, Elsevier, 1989) p. 59
T. Tadashi, T. Hiromasa, S. Tatsuo, H. Kenji. Sensors Actuators B, 25 (1-3), 548 (1995)
Л.А. Обвинцева. Росс. хим. журн., 52 (2), 113 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель