"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние деформации сжатия и растяжения на спектр дислокационной люминесценции в кремнии
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Феклисова О.В.2, Якимов Е.Б.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru, iosh_q@mail.ru, feklisov@iptm.ru, yakimov@iptm.ru
Поступила в редакцию: 17 марта 2021 г.
В окончательной редакции: 25 марта 2021 г.
Принята к печати: 25 марта 2021 г.
Выставление онлайн: 9 апреля 2021 г.

Исследована фотолюминесценция в кремнии, деформированном методом четырехточечного изгиба при температуре 600oС. С обеих сторон деформированных образцов наблюдаются так называемые линии дислокационной люминесценции D1, D2, D3 и D4. Обнаружено, что для образцов с плотностью введенных дислокаций ~107 см-2 интенсивность люминесценции линий D3 и D4 одинаковая с обеих сторон образцов, а интенсивности линий D1 и D2 со стороны растяжения выше, чем со стороны сжатия. Поведение интенсивности линий D1 и D2 хорошо коррелирует с количеством следов за дислокациями. Обсуждаются возможные причины наблюдавшегося эффекта. Ключевые слова: дислокационная люминесценция, кремний, метод четырехточечного изгиба.
  1. Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма ЖЭТФ, 23, 651 (1976)
  2. N.A. Drozdov, A.A. Patrin, V.D. Tkachev: Phys. Status Solidi B, 83, K137 (1977)
  3. R. Sauer, J. Weber, J. Stolz, E.R. Weber, K.H. Kurster, H. Alexander. Appl. Phys. A, 36, 1 (1985)
  4. N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, E.I. Shek, O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, T.V. Kotereva. Phys. Status Solidi C, 2, 1842 (2005)
  5. Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Е.И. Шек, О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТП, 39 (10), 1271 (2005)
  6. I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, B.Ya. Farber, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 68, 53 (1981)
  7. I.E. Bondarenko, H. Blumtritt, J. Heydenreich, V.V. Kazmiruk, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 95, 173 (1986)
  8. O.V. Feklisova, V.I. Orlov, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 12 (8), 1081 (2015)
  9. V.I. Orlov, E.B. Yakimov, N. Yarykin. Sol. St. Phenomena, 242, 155 (2016)
  10. O.A. Soltanovich, V.I. Orlov, N. Yarykin, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 216, 1900326 (2019)
  11. V. Kveder, M. Kittler. Mater. Sci. Forum, 590, 29 (2008)
  12. N.A. Sobolev, O.B. Gusev, E.I. Shek, V.I. Vdovin, T.G. Yugova, A.M. Emel'yanov. Appl. Phys. Lett., 72, 3326 (1998)
  13. S. Fukatsu, Y. Mera, M. Inoue, K. Maeda, H. Akiyama, H. Sakaki. Appl. Phys. Lett., 68, 1889 (1996)
  14. L.I. Fedina, A.K. Gutakovskii, T.S. Shamirzaev. J. Appl. Phys., 124, 053106 (2018)
  15. V.I. Orlov, E.B. Yakimov, N. Yarykin. Phys. Status Solidi C, 14 (7), 1700074 (2017)
  16. В.И. Орлов, Н.А. Ярыкин, Е.Б. Якимов. ФТП, 53 (4), 433 (2019)
  17. O.V. Feklisova, B. Pichaud, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 202, 896 (2005)
  18. K. Wessel, H. Alexander. Phil. Mag., 35, 1523 (1977)
  19. V.G. Eremenko, E.B. Yakimov. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 27, 349 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.