"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Синхротронные исследования формирования нанокластеров кремния в многослойных наноструктурах Al2O3/SiOx/ Al2O3/SiOx/.../Si(100)
Турищев С.Ю.1, Терехов В.А.1, Коюда Д.А.1, Панков К.Н.1, Ершов А.В.2, Грачев Д.А.2, Машин А.И.2, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 февраля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Проведены исследования многослойных нанопериодических структур Al2O3/SiOx/Al2O3/SiOx/.../Si(100) методом спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения (XANES). Экспериментальные спектры XANES были получены с использованием синхротронного излучения. Показано формирование нанокластеров кремния в поверхностных слоях структур при их высокотемпературном отжиге. При этом структуры характеризовались интенсивной размерно-зависимой фотолюминесценцией в области длин волн вблизи 800 нм. В то же время показано, что возможно образование алюмосиликатов. Обнаружен эффект обращения интенсивности спектров XANES при взаимодействии синхротронного излучения с многослойными нанопериодическими структурами.
  • G.F. Grom, D.J. Lockwood, J.P. McCaffrey, H.J. Labbe, P.M. Fauchet, B. White, J. Diener, D. Kovalev, F. Koch, L. Tsybeskov. Nature, 407, 358 (2000)
  • M. Zacharias, J. Heitmann, R. Scholz, U. Kahler, M. Schmidt, J. Blasing. Appl. Phys. Lett., 80, 661 (2002)
  • А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум, И.А. Чугров, А.И. Машин, А.Н. Михайлов, А.В. Нежданов, А.А. Ершов, И.А. Карабанова. ФТП, 45 (6), 747 (2011)
  • M. Kasrai, W.N. Lennard, R.W. Brunner, G.M. Bancroft, J.A. Bardwell, K.H. Tan. Appl. Surf. Sci., 99, 302 (1996)
  • М.А. Блохин. Рентгеновские лучи (М., Гостехтеоретиздат, 1953)
  • М.А. Румш, А.П. Лукирский, В.Н. Щемелев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 25 (8), 1060 (1961)
  • Т.М. Зимкина, В.А. Фомичев. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия (Л., Изд-во ЛГУ, 1971)
  • F.C. Brown, O.P. Rustgi. Phys. Rev. Lett., 28 (8), 497 (1972)
  • В.А. Терехов, Э.П. Домашевская. Изв. АН СССР. Сер. физ., 49 (8), 1531 (1985)
  • S.Yu. Turishchev, V.A. Terekhov, V.M. Kashkarov, E.P. Domashevskaya, S.L. Molodtsov, D.V. Vyalikh. J. Electron Spectr. Relat. Phenom., 156--158, 445 (2007)
  • P.L. Hansen, R. Brydson, D.W. McComb. Microscopy, Microanalysis. Microstructures, 3, 213 (1992)
  • M. Watanabe, T. Ejima, N. Miyata, T. Imazono, M. Yanagihara. Nucl. Sci. Techniq., 17 (5), 257 (2006)
  • М.А. Кудряшов, А.И. Белов, А.Н. Михайлов, А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум. Тез. докл. XXXVII Междунар. конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (М., Россия, 2007)
  • H. Piao, N.S. McIntyre. Surface Interface Analysis, 31, 874 (2001)
  • C. Weigel, G. Calas, L. Cormier, L. Galoisy, G.S. Henderson. J. Phys.: Condens. Matter, 20, 135 219 (2008)
  • H. Rinnert, M. Vergnat, G. Marchal, A. Burneau. Appl. Phys. Lett., 72 (24), 3157 (1998)
  • S. Kim, D.H. Shin, D.Y. Shin, C.O. Kim, J.H. Park, S.B. Yang, S.-H. Choi, S.J. Yoo, J.-G. Kim. J. Nanomater., 2012 (Article ID 572746), 1 (2012)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.