Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Акцепторное легирование мышьяком при осаждении слоев CdTe из диметилкадмия и диизопропилтеллура
Переводная версия: 10.1134/S1063782621010061 
Министерство образования и науки Российской Федерации, 0095-2019-0004
Российский научный фонд, 17-12-01360
Евстигнеев В.С.
1, Чилясов А.В.
1, Моисеев А.Н.
1, Морозов С.В.
2, Курицын Д.И.
2
1Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН, Нижний Новгород, Россия 
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: evstigvs@gmail.com
Поступила в редакцию: 31 августа 2020 г.
В окончательной редакции: 9 сентября 2020 г.
Принята к печати: 9 сентября 2020 г.
Выставление онлайн: 12 октября 2020 г.
Исследованы вхождение и активация мышьяка из трис-диметиламиноарсина в слои CdTe, выращенные методом химического осаждения из паров диметилкадмия и диизопропилтеллура на подложках GaAs. Вхождение мышьяка в CdTe зависит от кристаллографической ориентации слоев и увеличивается в ряду (111)B(100)(310). Концентрация мышьяка в слоях CdTe пропорциональна потоку трис-диметила-миноарсина в степени 1.4 и увеличивается при уменьшении соотношения диизопропилтеллур/диметилкадмий с 1.4 до 0.5. После осаждения слои CdTe:As имели p-тип проводимости с концентрацией мышьяка и дырок 1017-7·1018 и 2.7·1014-4.6·1015 см-3 соответственно, доля электрически активного мышьяка не превышала ~0.3%. После отжига в аргоне (250-450oC) максимальная концентрация дырок и доля электрически активного мышьяка составили 1·1017 см-3 и ~4.5% соответственно. Энергия ионизации мышьяка, определенная из температурной зависимости концентрации дырок, лежит в интервале 98-124 мэВ. В спектрах низкотемпературной фотолюминесценции слоев проявляется пик с энергией ~1.51 эВ, который отнесен к донорно-акцепторной рекомбинации, где акцептором является AsTe с энергией ионизации ~90 мэВ. Ключевые слова: теллурид кадмия, химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений, вторично-ионная масс-спектрометрия, активация мышьяка, отжиг.
- M.A. Green, E.D. Dunlop, D.H. Levi, J. Hohl-Ebinger, M. Yoshita, A.W.Y. Ho-Baillie. Progr. Photovolt.: Res. Appl., 27 (7), 565 (2019)
- Kanevce, M.O. Reese, T.M. Barnes, S.A. Jensen, W.K. Metzger. J. Appl. Phys., 121 (21), 214506 (2017)
- E. Molva, K. Saminadayar, J.L. Pautrat. Solid State Commun., 48 (11), 955 (1983)
- M. Soltani, M. Certier, R. Evrard, E. Kartheuser. J. Appl. Phys., 78 (9), 5626 (1995)
- J.M. Arias, S.H. Shin, D.E. Cooper, M. Zandian, J.G. Pasko, E.R. Gertner, R.E. DeWames, J. Singh. J. Vac. Sci. Technol. A, 8 (2), 1025 (1990)
- V.S. Evstigneev, A.V. Chilyasov, A.N. Moiseev, M.V. Kostunin. TSF, 689, 137514 (2019)
- Е.С. Никонюк, З.И. Захарук, В.Л. Шляховый, П.М. Фочук, А.И. Раренко. ФТП, 35 (4), 417 (2001)
- D.J. Chadi, C.H. Park. Mater. Sci. Forum, 196, 285 (1995)
- S.H. Wei, S.B. Zhang. Phys. Rev. B, 66 (15), 155211 (2002)
- L. Svob, I. Cheze, A. Lusson, D. Ballutaud, J.F. Rommeluere, Y. Marfaing. J. Cryst. Growth, 184, 459 (1998)
- P.Y. Su, R. Dahal, G.C. Wang, S. Zhang, T.M. Lu, I.B. Bhat. J. Electron. Mater., 44 (9), 3118 (2015)
- M. Ekawa, K. Yasuda, T. Ferid, M. Saji. J. Appl. Phys., 71 (6), 2669 (1992)
- А.В. Чилясов, А.Н. Моисеев, В.С. Евстигнеев, Б.С. Степанов, М.Н. Дроздов. Неорг. матер., 52 (12), 1284 (2016). [A.V. Chilyasov, A.N. Moiseev, V.S. Evstigneev, B.S. Stepanov, M.N. Drozdov. Inorg. Mater., 52 (12), 1210 (2016).]
- В.С. Евстигнеев, А.В. Чилясов, А.Н. Моисеев, М.В. Костюнин. Неорг. матер., 55 (10), 1040 (2019). [V.S. Evstigneev, A.V. Chilyasov, A.N. Moiseev, M.V. Kostyunin. Inorg. Mater., 55 (10), 984 (2019).]
- G. Kartopu, O. Oklobia, D. Turkay, D.R. Diercks, B.P. Gorman, V. Barrioz, S. Campbell, J.D. Major, M.K. Al Turkestani, S. Yerci, T.M. Barnes, N.S. Beattie, G. Zoppi, S. Jones, S.J.C. Irvine. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 194, 259 (2019)
- P.Y. Su, C. Lee, G.C. Wang, T.M. Lu, I.B. Bhat. J. Electron. Mater., 43 (8), 2895 (2014)
- S. Salim, C.K. Lim, K.F. Jensen. Chem. Mater., 7 (3), 507 (1995)
- М.В. Якушев, Д.В. Брунев, Ю.Г. Сидоров. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 1, 89 (2010)
- T. Ablekim, S.K. Swain, W.J. Yin, K. Zaunbrecher, J. Burst, T.M. Barnes, D. Kuciauskas, S.H. Wei, K.G. Lynn. Sci. Rep., 7 (1), 4563 (2017)
- B.E. McCandless, W.A. Buchanan, C.P. Thompson, G. Sriramagiri, R.J. Lovelett, J. Duenow, D. Albin, S. Jensen, E. Colegrove, J. Moseley, H. Moutinho, S. Harvey, M. Al-Jassim, W.K. Metzger. Sci. Rep., 8 (1), 1 (2018)
- S.K. Ghandhi, N.R. Taskar, I.B. Bhat. Appl. Phys. Lett., 50 (14), 900 (1987)
- L. Svob, Y. Marfaing, B. Clerjaud, D. C\^ote, A. Lebkiri, R. Druilhe. J. Cryst. Growth, 159 (1-4), 72 (1996)
- W. Scott, E.L. Stelzer, R.J. Hager. J. Appl. Phys., 47 (4), 1408 (1976)
- G.L. Burton, D.R. Diercks, O.S. Ogedengbe, P.A.R.D. Jayathilaka, M. Edirisooriya, T.H. Myers, K.N. Zaunbrecher, J. Moseley, T.M. Barnes, B.P. Gorman. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 182, 68 (2018)
- J.R. Haynes. Phys. Rev. Lett., 4 (7), 361 (1960)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
