Формирование омических контактов к слою алмазоподобного углерода, осажденному на диэлектрическую алмазную подложку
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Грант Президента РФ для молодых кандидатов наук , МК-3450.2019.2
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Конкурс проектов 2018 года фундаментальных научных исследований, 18-02-00565
Охапкин А.И.1, Юнин П.А.1, Архипова Е.А.1, Краев С.А.1, Королев С.А.1, Дроздов М.Н.1, Шашкин В.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, д. Афонино, Кстовский район, Нижегородская обл., Россия
Email: andy-ohapkin@yandex.ru, yunin@ipmras.ru, suroveginaka@ipmras.ru, kraev@ipmras.ru, PESH@ipm.sci-nnov.ru, drm@ipm.sci-nnov.ru, sha@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 15 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 21 апреля 2020 г.
Принята к печати: 21 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 11 июня 2020 г.
Описан процесс изготовления омических контактов к слою алмазоподобного углерода (DLC) при осаждении на него последовательно металлических слоев Au/Mo/Ti. Контакты имели хорошие механические и адгезионные свойства. Их удельное контактное сопротивление варьировалось от 1.4·10-4 до 6.4·10-5 Ом · см2 в зависимости от толщины слоя DLC. Изучена температурная зависимость слоевого сопротивления пленок. Показано, что тонкие слои DLC обеспечивают лучшие характеристики омического контакта из-за их более равномерной графитизации в процессе термического отжига. Ключевые слова: алмазоподобный углерод, омические контакты, плазмохимическое осаждение, монокристаллический алмаз, термический отжиг.
- N. Donato, N. Rouger, J. Pernot, G. Longobardi, F. Udrea. J. Phys. D: Appl. Phys., 53, 093001 (2020)
- T. Tachibana, B.E. Williams, J.T. Glass. Phys. Rev. B, 45 20), 11975 (1992)
- М.Н. Дроздов, Е.В. Демидов, Ю.Н. Дроздов, С.А. Краев, В.И. Шашкин, Е.А. Архипова, М.А. Лобаев, А.Л. Вихарев, А.М. Горбачев, Д.Б. Радищев, В.А. Исаев, С.А. Богданов. ЖТФ, 89 (12), 1923 (2019)
- A. Galbiati, S. Lynn, K. Oliver, F. Schirru, T. Nowak, B. Marczewska, J.A. Duenas, R. Berjillos, I. Martel, L. Lavergne. IEEE Trans. Nucl. Sci., 56 (4), 1863 (2009)
- M. De Feudis A.P. Caricato, G. Chiodini, M. Martino, E. Alemanno, G. Maruccio, A.G. Monteduro, P.M. Ossi, R. Perrino, S. Spagnolo. Diamond Relat. Mater., 65, 137 (2016)
- S. Rubanov, A. Suvorova, V.P. Popov, A.A. Kalinin, Yu.N. Pal'yanov. Diamond Relat. Mater., 63, 143 (2016)
- А.И. Охапкин, П.А. Юнин, М.Н. Дроздов, С.А. Королев, С.А. Краев, Е.А. Архипова, Е.В. Скороходов, П.А. Бушуйкин, В.И. Шашкин. ФТП, 53 (9), 1229 (2019)
- T. Matsumoto, H. Kato, T. Makino, M. Ogura, D. Takeuchi, H. Okushi, S. Yamasaki. Jpn. J. Appl. Phys., 53, 05FP05 (2014)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
