"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование омических контактов к слою алмазоподобного углерода, осажденному на диэлектрическую алмазную подложку
Переводная версия: 10.1134/S1063782620090213
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Грант Президента РФ для молодых кандидатов наук , МК-3450.2019.2
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Конкурс проектов 2018 года фундаментальных научных исследований, 18-02-00565
Охапкин А.И.1, Юнин П.А.1, Архипова Е.А.1, Краев С.А.1, Королев С.А.1, Дроздов М.Н.1, Шашкин В.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, д. Афонино, Кстовский район, Нижегородская обл., Россия
Email: andy-ohapkin@yandex.ru, yunin@ipmras.ru, suroveginaka@ipmras.ru, kraev@ipmras.ru, PESH@ipm.sci-nnov.ru, drm@ipm.sci-nnov.ru, sha@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 15 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 21 апреля 2020 г.
Принята к печати: 21 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 11 июня 2020 г.

Описан процесс изготовления омических контактов к слою алмазоподобного углерода (DLC) при осаждении на него последовательно металлических слоев Au/Mo/Ti. Контакты имели хорошие механические и адгезионные свойства. Их удельное контактное сопротивление варьировалось от 1.4·10-4 до 6.4·10-5 Ом · см2 в зависимости от толщины слоя DLC. Изучена температурная зависимость слоевого сопротивления пленок. Показано, что тонкие слои DLC обеспечивают лучшие характеристики омического контакта из-за их более равномерной графитизации в процессе термического отжига. Ключевые слова: алмазоподобный углерод, омические контакты, плазмохимическое осаждение, монокристаллический алмаз, термический отжиг.
  1. N. Donato, N. Rouger, J. Pernot, G. Longobardi, F. Udrea. J. Phys. D: Appl. Phys., 53, 093001 (2020)
  2. T. Tachibana, B.E. Williams, J.T. Glass. Phys. Rev. B, 45 20), 11975 (1992)
  3. М.Н. Дроздов, Е.В. Демидов, Ю.Н. Дроздов, С.А. Краев, В.И. Шашкин, Е.А. Архипова, М.А. Лобаев, А.Л. Вихарев, А.М. Горбачев, Д.Б. Радищев, В.А. Исаев, С.А. Богданов. ЖТФ, 89 (12), 1923 (2019)
  4. A. Galbiati, S. Lynn, K. Oliver, F. Schirru, T. Nowak, B. Marczewska, J.A. Duenas, R. Berjillos, I. Martel, L. Lavergne. IEEE Trans. Nucl. Sci., 56 (4), 1863 (2009)
  5. M. De Feudis A.P. Caricato, G. Chiodini, M. Martino, E. Alemanno, G. Maruccio, A.G. Monteduro, P.M. Ossi, R. Perrino, S. Spagnolo. Diamond Relat. Mater., 65, 137 (2016)
  6. S. Rubanov, A. Suvorova, V.P. Popov, A.A. Kalinin, Yu.N. Pal'yanov. Diamond Relat. Mater., 63, 143 (2016)
  7. А.И. Охапкин, П.А. Юнин, М.Н. Дроздов, С.А. Королев, С.А. Краев, Е.А. Архипова, Е.В. Скороходов, П.А. Бушуйкин, В.И. Шашкин. ФТП, 53 (9), 1229 (2019)
  8. T. Matsumoto, H. Kato, T. Makino, M. Ogura, D. Takeuchi, H. Okushi, S. Yamasaki. Jpn. J. Appl. Phys., 53, 05FP05 (2014)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.