Вышедшие номера
Идентификация медных и медь--водородных комплексов в кремнии
Ярыкин Н.А.1, Weber J.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Technische Universitat Dresden, Dresden, Germany
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней в работе изучаются центры, которые формируются в кремнии в результате взаимодействия между примесью меди в положении замещения Cus и подвижными вблизи комнатных температур частицами: межузельными атомами меди Cui или водорода H. Установлено, что известный фотолюминесцентный центр, включающий четыре атома меди, образуется на основе атома меди в положении замещения путем последовательного присоединения Cui. Оба промежуточных комплекса (Cu_s-Cui и Cu_s-2Cui) идентифицированы по их глубоким уровням в нижней половине запрещенной зоны. Обнаружено, что Cus образует комплексы с одним, двумя, и тремя атомами водорода, причем Cus-H и Cus-2H являются электрически активными. Отмечается, что присоединение водорода или меди сходным образом влияет на структуру глубоких уровней Cus.