"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Идентификация медных и медь--водородных комплексов в кремнии
Ярыкин Н.А.1, Weber J.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Technische Universitat Dresden, Dresden, Germany
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней в работе изучаются центры, которые формируются в кремнии в результате взаимодействия между примесью меди в положении замещения Cus и подвижными вблизи комнатных температур частицами: межузельными атомами меди Cui или водорода H. Установлено, что известный фотолюминесцентный центр, включающий четыре атома меди, образуется на основе атома меди в положении замещения путем последовательного присоединения Cui. Оба промежуточных комплекса (Cu_s-Cui и Cu_s-2Cui) идентифицированы по их глубоким уровням в нижней половине запрещенной зоны. Обнаружено, что Cus образует комплексы с одним, двумя, и тремя атомами водорода, причем Cus-H и Cus-2H являются электрически активными. Отмечается, что присоединение водорода или меди сходным образом влияет на структуру глубоких уровней Cus.
  1. Н.С. Минаев, А.В. Мудрый, В.Д. Ткачёв. ФТП, 13, 395 (1979) [Sov. Phys. Semicond., 13, 233 (1979)]
  2. J. Weber, H. Bauch, R. Sauer. Phys. Rev. B, 25, 7688 (1982)
  3. M.L.W. Thewalt, M. Steger, A. Yang et al. Physica B, 401--402, 587 (2007)
  4. M. Steger, A. Yang, N. Stavrias et al. Phys. Rev. Lett., 100, 177 402 (2008)
  5. A. Carvalho, D.J. Backlund, S.K. Estreicher. Phys. Rev. B, 84, 155 322 (2011)
  6. J.-U. Sachse, E.O. Sveinbjornsson, N. Yarykin, J. Weber. Mater. Sci. Eng. B, 58, 134 (1999)
  7. T. Zundel, J. Weber. Phys. Rev. B, 39, 13 549 (1989)
  8. A. Mesli, T. Heiser. Phys. Rev. B, 45, 11 632 (1992)
  9. H. Lemke. Phys. Staus. Solidi A, 95, 665 (1986)
  10. S.D. Brotherton, J.R. Ayres, A.A. Gill, H.W. van Kesteren, F.J.A.M. Greidanus. J. Appl. Phys., 62, 1826 (1987)
  11. N. Yarykin, J. Weber. Phys. Rev. B, 83, 125 207 (2011)
  12. H.B. Erzgraber, K. Schmalz. J. Appl. Phys., 78, 4066 (1995)
  13. S. Knack, J. Weber, H. Lemke, H. Riemann. Physica B, 308--310, 404 (2001)
  14. T. Zundel, J. Weber, B. Benson, P.O. Hahn, A. Schnegg, H. Prigge. Appl. Phys. Lett., 53, 1426 (1988)
  15. S. Knack, J. Weber, H. Lemke, H. Riemann. Phys. Rev. B, 65, 165 203 (2002)
  16. L. Dobaczewski, P. Kaczor, I.D. Hawkins, A.R. Peaker. J. Appl. Phys., 76, 194 (1994)
  17. O.V. Feklisova, N. Yarykin, E.B. Yakimov, J. Weber. Physica B, 308--310, 210 (2001)
  18. О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов, Н.А. Ярыкин. ФТП, 36, 301 (2002) [Semiconductors 36, 282 (2002)]
  19. A. van Wieringen, N. Warmoltz. Physica (Utrecht), 22, 849 (1956)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.