"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Фотодетекторы на базе гетероструктур Ge/Si(001), выращенных методом горячей проволоки
Шенгуров В.Г.1, Чалков В.Ю.1, Денисов С.А.1, Алябина Н.А.1, Гусейнов Д.В.1, Трушин В.Н.1,2, Горшков А.П.3,2, Волкова Н.С.3, Иванова М.М.4, Круглов А.В.2, Филатов Д.О.2
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Научно-образовательный центр "Физика твердотельных наноструктур", Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
3Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
4Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.М. Седакова, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 17 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.

Сообщается о создании фотодетекторов коммуникационного диапазона длин волн lambda=1.3-1.55 мкм на базе гетероструктур Ge/Si(001) с толстыми (~0.5 мкм) слоями Ge, выращенными методом горячей проволоки при пониженных (350oC) температурах роста. Полученные монокристаллические слои Ge отличались низкой плотностью прорастающих дислокаций (~105 см-2). Фотодетекторы продемонстрировали достаточно высокую квантовую эффективность (~0.05 при lambda=1.5 мкм, 300 K) при умеренных значениях плотности обратного тока насыщения (~10-2 А/см2). Таким образом, было показано, что метод горячей проволоки является перспективным для формирования интегрированных фотодетекторов коммуникационного диапазона длин волн, в особенности, в условиях ограничений на условия термообработок.
  1. L. Pavesi. J. Phys.: Condens. Matter, 15, R1169 (2003)
  2. J. Wang, S. Lee. Sensors, 11, 696 (2011)
  3. L. Colace, G. Masini, G. Assanto, H.-C. Luan, K. Wada, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett., 76, 1231 (2000)
  4. S. Fama, L. Colace, G. Masini, G. Assanto, H.-C. Luan. Appl. Phys. Lett., 81, 586 (2002)
  5. S.A. Matveev, S.A. Denisov, D.V. Guseinov, V.N. Trushin, A.V. Nezhdanov, D.O. Filatov, V.G. Shengurov. J. Phys.: Conf. Ser., 541, 012 026 (2014)
  6. C. Mukherjee, H. Seitz, B. Schroder. Appl. Phys. Lett., 78, 3457 (2001)
  7. В.Г. Шенгуров, В.Ю. Чалков, С.А. Денисов, С.П. Светлов, Д.В. Шенгуров. Вакуумная техника и технология, 21, 45 (2011)
  8. J.M. Hartmann, A. Abbadie, A.M. Papon, P. Holliger, G. Rolland, T. Billon, J.M. Fedeli, M. Rouviere, L. Vivien, S. Laval. J. Appl. Phys., 95, 5905 (2004)
  9. O.A. Голикова, Б.Я. Мойжес, B. Ya, Л.С. Стильбанс. ФТТ, 3, 2259 (1962)
  10. T.P. Pearsall. In: Optical Fiber Communications: Devices, Circuits and Systems, eds M.J. Howes, D.V. Morgan (N.Y., Wiley, 1980) p. 147
  11. R. Kaufmann, G. Isella, A. Sanchez-Amores, S. Neukom, A. Neels, L. Neumann, A. Brenzikofer, A. Dommann, C. Urban, H. von Kanel. J. Appl. Phys., 110, 023 107 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.