Вышедшие номера
Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени
Достанко А.П.1, Агеев О.А.2, Голосов Д.А.1, Завадский С.М.1, Замбург Е.Г.2, Вакулов Д.Е.2, Вакулов З.Е.2
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
2Южный федеральный университет, Таганрог, Россия
Поступила в редакцию: 25 ноября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Проведены исследования влияния параметров процесса нанесения на стехиометрический состав, электрофизические и оптические свойства пленок оксида цинка, получаемых методом ионно-лучевого распыления ZnO-мишени. Установлено, что при распылении ZnO-мишени стехиометрического состава в нанесенных пленках наблюдается недостаток кислорода. Даже при распылении мишени в среде чистого O2 стехиометрический индекс нанесенных пленок не превышал 0.98. Уменьшение содержания кислорода в нанесенных пленках сопровождалось резким уменьшением удельного сопротивления до 35 - 40 Ом · м, уменьшением оптической ширины запрещенной зоны и сдвигом края оптического пропускания с 389 до 404 нм. Все изменения оптических и электрических свойств пленок ZnO можно объяснить изменением концентрации и подвижности свободных носителей в пленке.