"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности регистрации alpha-частиц тонкими полуизолирующими пленками 6H-SiC
Строкан Н.Б.1, Лебедев А.А.1, Иванов А.М.1, Давыдов Д.В.1, Козловский В.В.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 июня 2000 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2000 г.

Структуры типа p+-n-n+ на базе пленок 6H-SiC, выращенных методом chemical vapor deposition на n+-подложке, облучались протонами с энергией 8 МэВ и дозой 8· 1015 см-2. Для стабилизации материала применялся отжиг при T=450oC в течение 10 мин. В итоге удельное сопротивление пленки составляло rho=5· 109 Ом · см. Воздействие протонов исследовалось методом alpha-спектрометрии. Регистрация alpha-частиц с энергией 5.77 МэВ проводилась как при обратном, так и прямом напряжениях. Сопоставлялись результаты двух режимов регистрации: (1) при сквозном простреле структуры плотным треком и (2) для условий полного торможения частицы. Показано, что в случае (1) сигнал в режиме прямого смещения формируется по механизму "сквозного проводящего канала". Это позволяет определить величину произведения времени жизни электронов на их подвижность. Исследован стандартный для спектрометрии режим, когда пробег частицы R не превышает протяженности пленки. Отмечено, что уменьшение R приводит к различному поведению сигнала для указанных выше смещений. Так, для прямого смещения сигнал уменьшается более резко и при больших значениях R.
  1. А.А. Лебедев, А.И. Вейнгер, Д.В. Давыдов, В.В. Козловский, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук. ФТП, 34 (9), 1058 (2000)
  2. А.А. Лебедев, Н.С. Савкина, А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, Д.В. Давыдов. ФТП, 34 (2), 249 (2000)
  3. В.К. Еремин, Н.Б. Строкан, Н.И. Тиснек. ФТП, 8 (6), 1157 (1974)
  4. С.М. Рывкин. ЖТФ, 26 (12), 2667 (1956)
  5. Н.А. Витовский, П.И. Малеев, С.М. Рывкин. ЖТФ, 28 (3), 460 (1958)
  6. L.J. Beattie, A. Chilingarov, T. Sloan. Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Research., A439 (2), 293 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.