"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Самоупорядоченные микрорезонаторы в сверхмелких кремниевых p+-n-переходах
Баграев Н.Т.1, Буравлев А.Д.1, Клячкин Л.Е.1, Маляренко А.М.1, Рыков С.А.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 декабря 1999 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2000 г.

Сканирующая туннельная микроскопия используется для регистрации топографических изображений поверхности (100) сверхмелких диффузионных профилей бора в кремнии. Данная методика позволяет исследовать влияние флуктуаций поверхностного деформационного потенциала, зависящих от толщины предварительно нанесенного слоя окисла, на кристаллографическую ориентацию потоков неравновесных вакансий и собственных межузельных атомов, которые стимулируют обменные механизмы примесной диффузии. Впервые показано существование самоупорядоченных систем квантовых антиточек, которые формируются вследствие флуктуаций поверхностного деформационного потенциала и представляют собой микродефекты, проникающие сквозь диффузионный профиль легирующей примеси. Установлено, что разброс в размерах квантовых антиточек нивелируется при увеличении температуры примесной диффузии. Кроме того, размеры квантовых антиточек взаимосвязаны с их пространственным распределением, что указывает на фрактальный механизм формирования самоупорядоченных нуль-мерных систем в условиях сильного взаимодействия неравновесных потоков примесных атомов и первичных дефектов. Получение самоупорядоченных квантовых антиточек, встроенных в систему кремниевых квантовых ям, делает возможным создание микрорезонаторов с распределенной обратной связью, наличие которых подтверждается с помощью спектральных зависимостей коэффициентов отражения и пропускания соответственно в видимом и инфракрасном диапазонах длин волн.
  1. R. Notzel. Semicond. Sci. Technol., 11, 1365 (1996)
  2. H.-J. Gossman, J.M. Poate. Proc. ICPS-23 (Berlin, 1996) 4, 2569
  3. N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, L.E. Klyachkin et al. Superlat. Microstr., 23(2), 337 (1998)
  4. N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A. Naser. Def. Dif. Forum, 143--147, 1003 (1997)
  5. W. Gehlhoff, N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin. Sol. St. Phenomena, 47--48, 589 (1995)
  6. N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin et. al. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1683 (1997)
  7. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, W. Gehlhoff. Proc. ICPS-23 (Berlin, 1996) 2, 1241
  8. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, W. Gehlhoff. Superlat. Microstr., 23(6), 1333 (1998)
  9. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, И.С. Половцев, В.Л. Суханов. ФТП, 24 (9), 1557 (1990)
  10. А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров. ФТП, 32, 137 (1998)
  11. А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, С.В. Робозеров. ФТП, 33 (1), 58 (1999)
  12. А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, С.В. Робозеров. ФТТ, 41 (10), 1871 (1999)
  13. R. Houdre, R.P. Stanley, C. Weisbuch et al. Proc. ICPS-23 (Berlin, 1996) 4, 3071
  14. R. Houndre. Phys. Rev. B, 49, 16 761 (1994)
  15. N.T. Bagraev, A.D. Bouravleuv, W. Gehlhoff et al. Phys. B, 273--274 (1--4), 967 (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.