Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Самоупорядоченные микрорезонаторы в сверхмелких кремниевых p+-n-переходах
Баграев Н.Т.1, Буравлев А.Д.1, Клячкин Л.Е.1, Маляренко А.М.1, Рыков С.А.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 декабря 1999 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2000 г.
Сканирующая туннельная микроскопия используется для регистрации топографических изображений поверхности (100) сверхмелких диффузионных профилей бора в кремнии. Данная методика позволяет исследовать влияние флуктуаций поверхностного деформационного потенциала, зависящих от толщины предварительно нанесенного слоя окисла, на кристаллографическую ориентацию потоков неравновесных вакансий и собственных межузельных атомов, которые стимулируют обменные механизмы примесной диффузии. Впервые показано существование самоупорядоченных систем квантовых антиточек, которые формируются вследствие флуктуаций поверхностного деформационного потенциала и представляют собой микродефекты, проникающие сквозь диффузионный профиль легирующей примеси. Установлено, что разброс в размерах квантовых антиточек нивелируется при увеличении температуры примесной диффузии. Кроме того, размеры квантовых антиточек взаимосвязаны с их пространственным распределением, что указывает на фрактальный механизм формирования самоупорядоченных нуль-мерных систем в условиях сильного взаимодействия неравновесных потоков примесных атомов и первичных дефектов. Получение самоупорядоченных квантовых антиточек, встроенных в систему кремниевых квантовых ям, делает возможным создание микрорезонаторов с распределенной обратной связью, наличие которых подтверждается с помощью спектральных зависимостей коэффициентов отражения и пропускания соответственно в видимом и инфракрасном диапазонах длин волн.
- R. Notzel. Semicond. Sci. Technol., 11, 1365 (1996)
- H.-J. Gossman, J.M. Poate. Proc. ICPS-23 (Berlin, 1996) 4, 2569
- N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, L.E. Klyachkin et al. Superlat. Microstr., 23(2), 337 (1998)
- N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A. Naser. Def. Dif. Forum, 143--147, 1003 (1997)
- W. Gehlhoff, N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin. Sol. St. Phenomena, 47--48, 589 (1995)
- N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin et. al. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1683 (1997)
- N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, W. Gehlhoff. Proc. ICPS-23 (Berlin, 1996) 2, 1241
- N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, W. Gehlhoff. Superlat. Microstr., 23(6), 1333 (1998)
- Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, И.С. Половцев, В.Л. Суханов. ФТП, 24 (9), 1557 (1990)
- А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров. ФТП, 32, 137 (1998)
- А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, С.В. Робозеров. ФТП, 33 (1), 58 (1999)
- А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, С.В. Робозеров. ФТТ, 41 (10), 1871 (1999)
- R. Houdre, R.P. Stanley, C. Weisbuch et al. Proc. ICPS-23 (Berlin, 1996) 4, 3071
- R. Houndre. Phys. Rev. B, 49, 16 761 (1994)
- N.T. Bagraev, A.D. Bouravleuv, W. Gehlhoff et al. Phys. B, 273--274 (1--4), 967 (1999)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
