Вышедшие номера
Электропроводность изолирующего слоя на поверхности полупроводника, обусловленная электронно-ионным взаимодействием у межфазной границы
Гольдман Е.И.1, Ждан А.Г.1, Чучева Г.В.1
1Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Фрязино, Россия
Поступила в редакцию: 12 января 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1999 г.

Рассмотрены явления образования нейтральных электронно-ионных ассоциатов у границы раздела полупроводник-диэлектрик, а также их диффузии и распада в объеме диэлектрика. Возникающий после распада ассоциата ион под действием электрического поля в зависимости от его направления либо возвращается к границе раздела, либо уходит к противоположному электроду. В первом случае в слое толщиной порядка длины диффузии электронно-ионных ассоциатов возникает своеобразный кругооборот ионов у поверхности полупроводника, проявляющийся в виде стационарного слабо зависящего от электрического поля тока через диэлектрик. Во втором случае к переходному ионному току добавляется не зависящая от величины электрического поля компонента, связанная с диффузией и с распадом ассоциатов. Предсказанные эффекты обнаружены в изолирующих слоях кремниевых МОП структур.